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엠에프엠에스형 전계효과 트랜지스터 및 강유전체 메모리장치

  • 기술번호 : KST2015195177
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 MFMS(Metal-Ferroelectric-Metal-Substrate) 구조를 갖는 전계효과 트랜지스터와 강유전체 메모리 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 전계효과 트랜지스터 및 강유전체 메모리 장치는 소오스 및 드레인 영역과 그 사이에 채널영역이 형성되는 기판과, 상기 기판의 채널영역 상측에 형성됨과 더불어 도전성 재질로 구성되는 버퍼층, 상기 버퍼층 상에 형성되는 강유전체층 및, 상기 강유전체층상에 형성되는 게이트전극을 구비하여 구성되고, 상기 강유전체층이 분극화되지 않은 상태에서 상기 소오스 및 드레인 영역은 채널영역을 통해 상호 도전상태로 설정되는 것을 특징으로 한다.강유전체, 메모리, MFMS
Int. CL H01L 27/11585 (2017.01.01) H01L 29/78 (2006.01.01) H01L 29/51 (2006.01.01) H01L 21/28 (2006.01.01)
CPC H01L 27/11585(2013.01) H01L 27/11585(2013.01) H01L 27/11585(2013.01) H01L 27/11585(2013.01)
출원번호/일자 1020070116495 (2007.11.15)
출원인 서울시립대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1418593-0000 (2014.07.04)
공개번호/일자 10-2009-0050193 (2009.05.20) 문서열기
공고번호/일자 (20140710) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.11.15)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울시립대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박병은 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍성훈 대한민국 전라북도 전주시 덕진구 안덕원로 **, *층 ***호(진북동,오피스밸리)(드림인국제특허법률사무소)
2 김유 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, **층, **층(서초동, 태우빌딩)(특허법인세림)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울시립대학교 산학협력단 서울특별시 동대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2007-0819230-15
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2008.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0605118-36
3 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2009.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-5003870-62
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.05 수리 (Accepted) 4-1-2011-5002044-04
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2012-0940755-41
6 보정요구서
Request for Amendment
2012.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0138885-15
7 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-1027897-23
8 수수료 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee
2012.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0148177-98
9 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.06.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
10 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0057662-13
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0780165-96
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000287-10
13 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.01.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-0033493-23
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-0144233-40
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.02.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0144230-14
16 등록결정서
Decision to grant
2014.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0326008-44
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.17 수리 (Accepted) 4-1-2017-5009116-18
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5191631-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
소오스 및 드레인 영역과 그 사이에 채널영역이 형성되는 기판과,상기 기판의 채널영역 상측에 형성됨과 더불어 도전성 재질로 구성되는 버퍼층,상기 버퍼층 상에 형성되는 강유전체층 및,상기 강유전체층상에 형성되는 게이트전극을 구비하여 구성되고,상기 강유전체층이 분극화되지 않은 상태에서 상기 소오스 및 드레인 영역은 채널영역을 통해 상호 도전상태로 설정되는 것을 특징으로 하되,상기 버퍼층이 TiN이고, 상기 강유전체층이 BLT((Bi,La)4Ti3O12)를 포함하여 구성되는 MFMS(Metal-Ferroelectric-Metal-Substrate)형 강유전체 메모리 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 도전성 재질이 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 MFMS형 강유전체 메모리 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 도전성 재질이 전도성 금속 산화물과 이것들의 합금 및 화합물 중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 MFMS형 강유전체 메모리 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 도전성 재질이 전도성 유기물을 포함하는 것을 특징으로 하는 MFMS형 강유전체 메모리 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 도전성 재질이 실리사이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 MFMS형 강유전체 메모리 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 버퍼층의 도전성 재질은 금속, 전도성 금속 산화물, 전도성 유기물 및 실리사이드 중 적어도 두 개 이상의 재질로 이루어진 다층 구조로 구성되는 것을 특징으로 하는 MFMS형 강유전체 메모리 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 강유전체층이 산화물 강유전체, 고분자 강유전체, 불화물 강유전체 및 강유전체 반도체와 이들 강유전체의 고형체 중 적어도 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MFMS형 강유전체 메모리 장치
8 8
삭제
9 9
소오스 및 드레인 영역과 그 사이에 채널영역이 형성되는 기판과,상기 기판의 채널영역 상측에 형성됨과 더불어 도전성 재질로 구성되는 버퍼층,상기 버퍼층 상에 형성되는 강유전체층 및,상기 강유전체층상에 형성되는 게이트전극을 구비하여 구성되고,상기 강유전체층이 분극화되지 않은 상태에서 상기 소오스 및 드레인 영역은 채널영역을 통해 상호 도전상태로 설정되는 것을 특징으로 하되,상기 버퍼층이 TiN이고, 상기 강유전체층이 BLT((Bi,La)4Ti3O12)를 포함하여 구성되는 MFMS형 전계효과 트랜지스터
10 10
제9항에 있어서,상기 도전성 재질이 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 MFMS형 전계효과 트랜지스터
11 11
제9항에 있어서,상기 도전성 재질이 전도성 금속 산화물과 이것들의 합금 및 화합물 중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 MFMS형 전계효과 트랜지스터
12 12
제9항에 있어서,상기 도전성 재질이 전도성 유기물을 포함하는 것을 특징으로 하는 MFMS형 전계효과 트랜지스터
13 13
제9항에 있어서,상기 도전성 재질이 실리사이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 MFMS형 강유전체 전계효과 트랜지스터
14 14
제9항에 있어서,상기 버퍼층의 도전성 재질은 금속, 전도성 금속 산화물, 전도성 유기물 및 실리사이드 중 적어도 두 개 이상의 재질로 이루어진 다층 구조로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계효과 트랜지스터
15 15
제9항에 있어서,상기 강유전체층이 산화물 강유전체, 고분자 강유전체, 불화물 강유전체 및 강유전체 반도체와 이들 강유전체의 고형체 중 적어도 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MFMS형 전계효과 트랜지스터
16 16
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.