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유전율 측정장치에 있어서,측정 대상 물질이 충진되어 전자파 급전시 공진을 형성하는 공진부;상기 공진부 내부로 돌출되어 전자파를 방사하고, 반사파를 수신하는 안테나 로드; 및상기 안테나 로드로 상기 전자파를 급전하고, 상기 반사파를 전달받는 연결포트;를 포함하되,상기 공진부는하부면이 상부면 및 측면으로부터 분리되어, 하부면이 개방된 구조를 가지며,상부면에는 개구부가 형성된 것을 특징으로 하는 반고체 상태 물질의 유전율 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 공진부는하부면이 개방된 정육면체 또는 직육면체의 하우징; 및상기 하우징과 결합하여 밀폐공간을 형성하는 그라운드 플레이트;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반고체 상태 물질의 유전율 측정장치
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제 2항에 있어서, 상기 공진부는상기 상부면의 모서리에 개구부가 형성된 것을 특징으로 하는 반고체 상태 물질의 유전율 측정장치
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제 3항에 있어서, 상기 공진부는반고체 상태 물질을 충진하는 경우 상기 상부면의 모서리에 형성된 개구부를 통해 공기가 빠져나오는 것을 특징으로 하는 반고체 상태 물질의 유전율 측정장치
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제 2항에 있어서, 상기 공진부의 내부에 형성되는 전계모드는TE101 모드인 것을 특징으로 하는 반고체 상태 물질의 유전율 측정장치
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제 2항에 있어서, 상기 개구부의 한변의 길이는상기 하우징의 상부면의 한변의 길이의 1/6 이하인 것을 특징으로 하는 반고체 상태 물질의 유전율 측정장치
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