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강유전 물질과 금속 물질의 혼합물로 구성되는 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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제1항에 있어서,
상기 강유전 물질에 대한 금속 물질의 혼합비가 2중량% 이하인 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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3
제1항에 있어서,
상기 강유전 물질이 산화물 강유전체, 고분자 강유전체, 불화물 강유전체, 강유전체 반도체 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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4
제1항 또는 제3항에 있어서,
상기 강유전 물질이 PZT인 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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5
제1항 또는 제3항에 있어서,
상기 강유전 물질이 BLT인 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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6
제2항에 있어서,
상기 금속 물질이 철(Fe), 알루미늄(Al), 텅스텐(W), STS304, Cu-Ni합금 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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7
강유전체층을 형성하는 방법에 있어서,
강유전 물질의 파우더를 준비하는 단계와,
금속 물질의 파우더를 준비하는 단계,
상기 강유전 물질의 파우더와 금속 물질의 파우더를 혼합 및 소결하여 타겟을 생성하는 단계 및,
상기 타겟을 이용하여 기판상에 강유전체층을 성막하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 강유전체층 형성방법
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8
제7항에 있어서,
상기 강유전 물질이 산화물 강유전체, 고분자 강유전체, 불화물 강유전체, 강유전체 반도체 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체층 형성방법
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9
제7항에 있어서,
강유전 물질에 대한 금속 물질의 혼합비가 2중량% 이하인 것을 특징으로 하는 강유전체층 형성방법
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10
강유전체층을 형성하는 방법에 있어서,
강유전 물질과 금속 물질의 혼합 용액을 생성하는 단계와,
상기 혼합 용액을 기판상에 코팅하는 단계 및,
상기 코팅된 강유전체층을 소결하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 강유전체층 형성방법
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11
제10항에 있어서,
상기 강유전 물질이 산화물 강유전체, 고분자 강유전체, 불화물 강유전체, 강유전체 반도체 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체층 형성방법
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12
제10항에 있어서,
강유전 물질에 대한 금속 물질의 혼합비가 2중량% 이하인 것을 특징으로 하는 강유전체층 형성방법
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13
강유전 물질과 철(Fe)의 혼합물로 구성되는 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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제13항에 있어서,
상기 강유전 물질에 대한 철의 혼합비가 2중량% 이하인 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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제13항에 있어서,
상기 강유전 물질이 PZT인 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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16
제13항에 있어서,
상기 강유전 물질이 BLT인 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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제13항에 있어서,
상기 강유전 물질이 산화물 강유전체, 고분자 강유전체, 불화물 강유전체, 강유전체 반도체 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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18
강유전 물질에 있어서,
상기 강유전 물질에 대하여 철이 혼합되어 있는 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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19
제18항에 있어서,
상기 강유전 물질에 대한 철의 혼합비가 2중량% 이하인 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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20
강유전체층을 형성하는 방법에 있어서,
강유전 물질의 파우더를 준비하는 단계와,
철(Fe)의 파우더를 준비하는 단계,
강유전 물질 파우더와 철(Fe)의 파우더를 혼합 및 소결하여 타겟을 생성하는 단계 및,
상기 타겟을 이용하여 기판상에 강유전체층을 성막하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 강유전체층 형성방법
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제20항에 있어서,
상기 강유전 물질이 산화물 강유전체, 고분자 강유전체, 불화물 강유전체, 강유전체 반도체 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체층 형성방법
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제20항에 있어서,
상기 강유전 물질에 대한 철의 혼합비가 2중량% 이하인 것을 특징으로 하는 강유전체층의 형성방법
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23
강유전체층을 형성하는 방법에 있어서,
강유전 물질과 철(Fe)의 혼합 용액을 생성하는 단계와,
상기 혼합 용액을 기판상에 코팅하는 단계 및,
상기 코팅된 강유전체층을 소결하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 강유전체층 형성방법
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