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저분자와 고분자 유기반도체 혼합용액을 사용한 박막트랜지스터의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 유기박막트랜지스터

  • 기술번호 : KST2015195968
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 저분자와 고분자 유기반도체 혼합용액을 사용한 박막트랜지스터의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 유기박막트랜지스터에 관한 것으로 기판을 형성하는 단계와; 상기 기판위에 소스/드레인 전극을 형성시키는 단계와; 상기 소스/드레인 전극위에 저분자와 고분자 유기반도체 혼합용액층을 형성시키는 단계와; 상기 반도체층이 형성된 기판을 열처리하는 단계와; 상기 열처리된 기판위에 유기절연막층을 형성시키는 단계와; 상기 유기절연막층이 형성된 기판위에 게이트 전극을 형성시키는 단계로 구성되며 상기 열처리는 혼합용액의 증발온도보다 낮은 온도에서 천천히 수행되는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의해 제조된 트랜지스터는 기존의 고온 열처리 방법 대비 50-100 배 정도 큰 단분자 단결정을 형성할 수 있고 전하 이동도를 300% 정도 향상시킬 수 있다.
Int. CL H01L 51/40 (2006.01) H01L 29/786 (2006.01) H01L 51/05 (2006.01)
CPC H01L 51/0034(2013.01) H01L 51/0034(2013.01) H01L 51/0034(2013.01) H01L 51/0034(2013.01) H01L 51/0034(2013.01)
출원번호/일자 1020120025984 (2012.03.14)
출원인 한밭대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0104472 (2013.09.25) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.03.14)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한밭대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노용영 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허수준 대한민국 서울 강남구 테헤란로 ***, **층(역삼동, 한독약품빌딩)(특허법인(유한) 다래)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0205354-51
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.01.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.02.06 수리 (Accepted) 9-1-2013-0007840-38
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0438007-13
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0800662-35
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2014-0085888-54
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.04.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5058417-94
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5065033-29
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.12 수리 (Accepted) 4-1-2019-5072792-98
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 준비하는 단계와;상기 기판위에 소스/드레인 전극을 형성시키는 단계와;상기 소스/드레인 전극위에 저분자와 고분자 유기반도체 혼합용액층을 형성시키는 단계와;상기 반도체층이 형성된 기판을 열처리하는 단계와;상기 열처리된 기판위에 유기절연막층을 형성시키는 단계와;상기 유기절연막층이 형성된 기판위에 게이트 전극을 형성시키는 단계로 구성되는 것을 특징으로 한 저분자와 고분자 유기반도체 혼합용액을 사용한 박막트랜지스터의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 저분자와 고분자 유기반도체 혼합용액은 저분자와 고분자가 중량비 기준으로 1:1로 혼합되는 것을 특징으로 한 저분자와 고분자 유기반도체 혼합용액을 사용한 박막트랜지스터의 제조방법
3 3
제 1항 또는 제2항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 저분자 유기반도체는 diF-TESADT이고, 상기 고분자 유기반도체는 PTAA인 것을 특징으로 한 저분자와 고분자 유기반도체 혼합용액을 사용한 박막트랜지스터의 제조방법
4 4
제 1항 또는 제2항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 열처리는 상기 저분자와 고분자 유기반도체 혼합용액층에 사용되는 용매의 끓는 점보다 낮은 온도에서 수행되는 것을 특징으로 한 저분자와 고분자 유기반도체 혼합용액을 사용한 박막트랜지스터의 제조방법
5 5
제 3항에 있어서,유기고분자: 유기저분자를 용매에 용해하는 비율이 2 wt
6 6
제 3항에 있어서,상기 열처리는 30 ~60 oC의 온도로 30 분간 수행되는 것을 특징으로 한 저분자와 고분자 유기반도체 혼합용액을 사용한 박막트랜지스터의 제조방법
7 7
기판;상기 기판 상에 위치한 소스/드레인 전극상기 게이트 전극을 포함하는 기판 전면에 걸쳐 위치한 저분자 유기반도체:고분자 유기반도체의 혼합으로 구성된 유기반도체층;상기 유기반도체층 위에 기판전면에 걸쳐 위치한 유기절연막상기 유기절연막 위에 트랜지스터 활성층 위에만 도포된 게이트 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터
8 8
제 6항에 있어서,상기 유기반도체층의 저분자 유기반도체와 고분자 유기반도체는 중량비 기준으로 1:1로 혼합되는 것을 특징으로 한 유기박막트랜지스터
9 9
제 7항 또는 제 8항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 저분자 유기반도체는 diF-TESADT이고, 상기 고분자 유기반도체는 PTAA인 것을 특징으로 한 유기박막트랜지스터
10 10
제 7항 또는 제 8항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 유기반도체층은 사용되는 용매의 끓는 점보다 낮은 온도에서 열처리된 것을 특징으로 한 유기박막트랜지스터
11 11
제 10항에 있어서,상기 열처리는 30 ~60 oC의 온도로 30 분간 수행되는 것을 특징으로 한 유기박막트랜지스터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한밭대학교 산학협력단 일반연구자지원사업 유기박막트랜지스터의 환경적 요인에 따른 특성 및 안정성에 관한 연구