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증착 챔버(200)에 수용된 피코팅물에 성막 증착을 하기 위해 증착 챔버의 하부에 연결되는 페럴린 성막 노즐장치(100)에 있어서,페럴린 다이머 분말을 가열에 의해 기화시켜 기체 상의 다이머를 생성하는 기화부(10); 상기 기화부(10)와 연통되게 결합되고, 가열에 의해 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성하는 가열분해부(20);상기 가열분해부(20)와 연통되게 결합되어 증착 챔버(200)의 내부에 기체 상의 다이머를 공급하는 노즐판부(30);열손실을 방지하기 위해 상기 기화부(10) 및 가열분해부(20)를 외주면에 결합되는 단열자켓(40); 및상기 증착 챔버(200)를 보호하기 위해 상기 증착 챔버(200)와 결합되는 가열분해부(20)의 상부 외주면에 결합되는 냉각자켓(50);을 포함하여 이루어지되,상기 기화부(10)와 가열분해부(20) 및 노즐판부(30)는 상호 간 수직선상에 배치되고, 상기 가열분해부(20)에는 기체 상의 다이머가 빠른 속도로 열분해될 수 있도록 내부 통기단면(通氣斷面)을 축소하는 환봉(33)이 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치
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제 1항에 있어서,상기 기화부(10)는 페럴린 다이머 분말이 수용된 용기(12)가 안착되고, 외주면에는 페럴린 다이머 분말을 가열에 의해 기화시킬 수 있도록 제 1히팅코일(60)의 권선되는 제 1관체(11)로 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치
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제 2항에 있어서,상기 가열분해부(20)는 상기 기화부(10)의 상부에 수직 연설되고, 외주면에는 가열에 의해 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성할 수 있도록 제 2히팅코일(70)이 권선되는 제 2관체(21)로 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치
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제 3항에 있어서,상기 노즐판부(30)는 상기 가열분해부(20)의 상단에 결합되되, 제 2관체(21)의 내경과 동일 크기의 노즐공(31)이 중심에 형성되고, 상기 환봉(33)은 상기 노즐공(31)보다 상대적으로 작은 직경으로 형성되어 상기 노즐공(31)의 중심에서 하향결합되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치
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제 4항에 있어서,상기 환봉(33)은 방사상으로 결합되는 적어도 2개 이상의 연결대(34)를 통해 노즐공(31)에 지지되고, 하부가 가열분해부(20)까지 하향 연장되어 상기 가열분해부(20)의 내부 통기단면이 축소될 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치
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증착 챔버(200)에 수용된 피코팅물에 성막 증착을 하기 위해 증착 챔버의 하부에 연결되는 페럴린 성막 노즐장치(100)에 있어서,페럴린 다이머 분말을 가열에 의해 기화시켜 기체 상의 다이머를 생성하는 기화부(10); 상기 기화부(10)와 연통되게 결합되고, 가열에 의해 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성하는 가열분해부(20);상기 가열분해부(20)와 연통되게 결합되어 증착 챔버(200)의 내부에 기체 상의 다이머를 공급하는 노즐판부(30);열손실을 방지하기 위해 상기 기화부(10) 및 가열분해부(20)를 외주면에 결합되는 단열자켓(40); 및상기 증착 챔버(200)를 보호하기 위해 상기 증착 챔버(200)와 결합되는 가열분해부(20)의 상부 외주면에 결합되는 냉각자켓(50);을 포함하여 이루어지되,상기 기화부(10) 및 가열분해부(20) 및 노즐판부(30)는 상호 간 수직선상에 배치되고,상기 기화부(10)는 가열분해부(20)의 내부에 삽입되어 기체 상의 다이머를 하향유도하고, 하향 유도된 다이머를 기화부(10)와 가열분해부(20)의 사이로 재차 상향 유도하여 이동경로를 증대에 따른 규모의 크기를 축소하고, 다이머의 효과적인 열분해가 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치
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제 6항에 있어서,상기 기화부(10)는 내부에 페럴린 다이머 분말이 수용된 용기(12)를 갖는 중공의 제 1관체(11)로 이루어지되,상기 제 1관체(11)의 하부는 가열분해부(20)와 연통되게 삽입되고, 상부는 상기 노즐판부(30)의 저면 중심에 결합되어 차폐되는 구조인 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치
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제 7항에 있어서, 상기 가열분해부(20)는 상부가 개방된 제 2관체(21)로 구성되되, 상기 제 2관체의 외주면에는 페럴린 다이머 분말을 간접 가열에 의해 기화시키는 제 1히팅코일(60)과, 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성하는 제 2히팅코일(70)이 권선되어 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치
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제 7항에 있어서,상기 노즐판부(30)는 상기 가열분해부(20)의 상단에 결합되되, 제 2관체(21)의 내경과 동일 크기의 노즐공(31)이 중심에 형성되고, 상기 노즐공(31)의 중심에는 상기 노즐공(31) 보다 상대적으로 작은 직경을 갖는 차단디스크(32)가 상기 제 1관체(11)의 상부와 결합되는 구조인 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치
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제 9항에 있어서,상기 차단디스크(32)는 방사상으로 결합되는 적어도 2개 이상의 연결대(34)를 통해 노즐공(31)에 지지되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치
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