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기판상에 유기반도체 용액을 코팅하여 유기반도체 박막을 제조하는 방법에 있어서,상기 코팅은 바코팅(bar coating)에 의해 수행되는 것을 특징으로 한 유기반도체 박막의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 바코팅(bar coating)은 50~250㎛의 두께로 와이어가 감겨진 금속바를 사용하여 진행되는 것을 특징으로 한 유기반도체 박막의 제조방법
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제 2항에 있어서,상기 유기반도체 용액의 농도는 용매대비 0
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제 3항에 있어서,상기 유기반도체 용액은 0
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제 4항에 있어서,상기 유기반도체는 폴리티오펜(polythiophene)과 그 유도체, 싸이아노 티오펜(thieno thiophene)과 그 유도체, TIPS 펜타센(triisopropylsilyl pentacene)과 그 유도체, 펜타센 프리커서(pentacene precursor)와 그 유도체, 알파-6-티오펜과 그 유도체, 폴리 플루오렌(polyfluorene)과 그 유도체, 펜타센(pentacene), 테트라센(tetracene), 안트라센(anthracene), 페릴렌(perylene) 및 그 유도체, 루브렌(rubrene) 및 그 유도체, 코로렌(coronene)과 그 유도체, 페닐렌 테트라카르복실릭디이미드(perylene tetracarboxylic diimide) 및 그 유도체, 폴리파라페닐렌 비닐렌 및 그 유도체, 폴리티오펜비닐렌 및 그 유도체, 알파-5-티오펜의 올리고티오펜 및 이들의 유도체, 금속을 함유하거나 함유하지 않는 프탈로시아닌 및 이들의 유도체, 나프탈렌 테트라 카르복시산 디이미드 및 이들의 유도체, 나프탈렌 테트라 카르복시산 디안하이드라이드 및 이들의 유도체 물질, PCBM 와 그 유도체, MEH-PPV(Poly(2-methoxy-5(2-ethylhexoxy)-1,4-phenyl-enevinyle) 와 그 유도체, F8BT(Poly(9,9-dioctylfluorene-alt-benzothiadiazole))와 그 유도체 등으로부터 선택되는 것을 특징으로 한 유기반도체 박막의 제조방법
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유리, PET, PEN과 같이 투명하거나 실리콘 웨이퍼와 같이 불투명한 기판을 준비하는 단계와;상기 준비된 기판에는 인듐 틴 옥사이드 (ITO)을 증착시키는 단계와;상기 ITO가 증착된 기판을 아세톤, 이소프로필알코올, 증류수 등을 용매로 초음파세척장치를 사용하여 1차 세척하는 단계와;상기 세척단계가 종료된 기판을 100℃ 이상의 온도의 챔버에서 10분 이상 열처리하는 단계와;상기 열처리된 기판을 산소플라즈마 장비를 이용해서 5-100mW의 세기로 2차 세척하는 단계와;상기 2차 세척이 종료된 기판위에 유기반도체 용액을 도포하는 단계와;상기 유기반도체 용액이 도포된 기판을 바코터(bar-coater)를 사용하여 코팅하는 단계와;상기 코팅이 종료된 기판을 핫플레이트나 열처리 챔버를 사용하여 80~200℃에서 10분이상 열처리하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 한 유기반도체 박막의 제조방법
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제 6항에 있어서,상기 인듐 틴 옥사이드 (ITO)는 50~500nm 증착되는 것을 특징으로 한 유기반도체 박막의 제조방법
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제 7항에 있어서,상기 기판에 도포되는 유기반도체 용액의 농도는 0
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제 8항에 있어서,상기 기판에 도포되는 유기반도체 용액의 두께는 0
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제 9항에 있어서,상기 바코팅(bar coating)은 50~250㎛의 두께로 와이어가 감겨진 금속바를 사용하여 진행되는 것을 특징으로 한 유기반도체 박막의 제조방법
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제 10항에 있어서,상기 유기반도체 용액은 폴리티오펜(polythiophene)과 그 유도체, 싸이아노 티오펜(thieno thiophene)과 그 유도체, TIPS 펜타센(triisopropylsilyl pentacene)과 그 유도체, 펜타센 프리커서(pentacene precursor)와 그 유도체, 알파-6-티오펜과 그 유도체, 폴리 플루오렌(polyfluorene)과 그 유도체, 펜타센(pentacene), 테트라센(tetracene), 안트라센(anthracene), 페릴렌(perylene) 및 그 유도체, 루브렌(rubrene) 및 그 유도체, 코로렌(coronene)과 그 유도체, 페닐렌 테트라카르복실릭디이미드(perylene tetracarboxylic diimide) 및 그 유도체, 폴리파라페닐렌 비닐렌 및 그 유도체, 폴리티오펜비닐렌 및 그 유도체, 알파-5-티오펜의 올리고티오펜 및 이들의 유도체, 금속을 함유하거나 함유하지 않는 프탈로시아닌 및 이들의 유도체, 나프탈렌 테트라 카르복시산 디이미드 및 이들의 유도체, 나프탈렌 테트라 카르복시산 디안하이드라이드 및 이들의 유도체 물질, PCBM 와 그 유도체, MEH-PPV(Poly(2-methoxy-5(2-ethylhexoxy)-1,4-phenyl-enevinyle) 와 그 유도체로부터 선택되는 것을 특징으로 한 유기반도체 박막의 제조방법
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인듐 틴 옥사이드 (ITO)가 증착된 유리기판 또는 실리콘 웨이퍼 기판과;상기 기판상에 유기반도체 용액이 0
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인듐 틴 옥사이드 (ITO)가 증착된 유리기판 또는 실리콘 웨이퍼 기판과;상기 기판상에 유기반도체 용액이 0
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인듐 틴 옥사이드 (ITO)가 증착된 유리기판 또는 실리콘 웨이퍼 기판과;상기 기판상에 유기반도체 용액이 0
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인듐 틴 옥사이드 (ITO)가 증착된 유리기판 또는 실리콘 웨이퍼 기판과;상기 기판상에 유기반도체 용액이 0
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