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그림자를 이용한 솔라셀용 웨이퍼 검사 방법

  • 기술번호 : KST2015196175
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 보다 빠르고 보다 정확하게 웨이퍼에 형성된 소유마크(saw mark)를 확인할 수 있는 솔라셀용 웨이퍼 검사 방법으로써, 솔라셀용 웨이퍼를 이동시키는 이송수단에 진동이 발생하여도 웨이퍼에 형성된 소유마크를 감지할 수 있는 솔라셀용 웨이퍼 검사 방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 그림자를 이용한 솔라셀용 웨이퍼 검사 방법은 솔라셀용 웨이퍼를 검사하는 방법에 있어서, 수평으로 이동하는 솔라셀용 웨이퍼에 빛을 조사하여 파이거나 돌출된 소유마크에 의해 형성되는 그림자를 감지하여 소유마크를 감지함을 특징으로 한다. 솔라셀용 웨이퍼, 그림자, 발광수단, 촬영수단
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01N 21/9501(2013.01) G01N 21/9501(2013.01) G01N 21/9501(2013.01) G01N 21/9501(2013.01)
출원번호/일자 1020090066476 (2009.07.21)
출원인 (주) 인텍플러스, 한밭대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0008916 (2011.01.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.07.21)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (주) 인텍플러스 대한민국 대전광역시 유성구
2 한밭대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임쌍근 대한민국 대전 서구
2 이상윤 대한민국 대전 유성구
3 주병권 대한민국 대전광역시 서구
4 이현민 대한민국 대전광역시 유성구
5 명태식 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2009-0444573-44
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2009-0522691-31
3 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2009.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2009-0522742-72
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.10.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.11.17 수리 (Accepted) 9-1-2010-0072516-59
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2010-5237800-14
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2010-5237775-60
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.02.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0084892-54
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.04.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0275516-91
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0275509-71
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0295984-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2014-0085888-54
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2017-0015082-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.04.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5058417-94
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5065033-29
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.12 수리 (Accepted) 4-1-2019-5072792-98
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
솔라셀용 웨이퍼를 검사하는 방법에 있어서, 솔라셀용 웨이퍼에 빛을 조사하여 파이거나 돌출된 소유마크에 의해 형성되는 그림자를 감지하여 소유마크를 감지함을 특징으로 하는 그림자를 이용한 솔라셀용 웨이퍼 검사 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 검사 방법에 있어서 솔라셀용 웨이퍼에 조사되는 빛은 솔라셀용 웨이퍼의 검사 대상면과 예각이루고 조사됨을 특징으로 하는 그림자를 이용한 솔라셀용 웨이퍼 검사 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 검사 방법에 있어서 솔라셀용 웨이퍼는 이동수단에 의해 수평으로 이동됨을 특징으로 하는 그림자를 이용한 솔라셀용 웨이퍼 검사 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.