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세정 가스를 플라즈마 상태로 변화시키는 플라즈마부;상기 세정 가스에 의해 세정되는 비어홀이 형성된 인쇄회로기판이 놓여지고, 접지부의 역할을 하며, 상기 플라즈마와 세정 가스가 관통하여 흐르도록 하는 접지전극; 및상기 접지전극이 놓이며, 상기 플라즈마와 세정 가스가 흐르는 공간이 확보되어 있고, 상기 공간의 일측에 상기 플라즈마와 세정 가스를 배출시키는 배출구가 형성된 흡입부를 포함하는 대기압 플라즈마를 이용한 인쇄회로기판의 세정장치
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제1항에 있어서, 상기 세정 가스는 불활성 가스와 산소가 혼합된 것이거나 공기인 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마를 이용한 인쇄회로기판의 세정장치
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제1항에 있어서, 상기 비어홀은 인쇄회로기판의 표면으로부터 이면까지 관통하는 스루홀(through hole) 또는 완전히 관통되지 않고 층간에만 관통되는 비관통홀(non-penetration hole)인 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마를 이용한 인쇄회로기판의 세정장치
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제1항에 있어서, 상기 배출구는 여러 개로 분기된 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마를 이용한 인쇄회로기판의 세정장치
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제4항에 있어서, 상기 분기된 수는 상기 인쇄회로기판의 크기, 상기 접지전극에 놓인 인쇄회로기판의 수, 상기 비어홀의 직경, 상기 비어홀의 길이, 상기 흡입부의 크기, 상기 흡입부의 형태에 따라 달라지는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마를 이용한 인쇄회로기판의 세정장치
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제1항에 있어서, 상기 접지전극은 메시와 상기 메시를 고정하는 제1 틀로 이루어진 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마를 이용한 인쇄회로기판의 세정장치
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제6항에 있어서, 상기 메시는 상기 인쇄회로기판이 놓이는 부분의 간격이 놓이지 않은 부분보다 넓은 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마를 이용한 인쇄회로기판의 세정장치
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제1항에 있어서, 상기 접지전극은 내부에 인쇄회로기판의 형태로 빈 공간이 형성된 기판 지지체와 상기 기판 지지체를 지지하는 제2 틀로 이루어진 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마를 이용한 인쇄회로기판의 세정장치
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제8항에 있어서, 상기 접지전극은 상기 기판 지지체와 상기 제2 틀을 연결하면서, 상기 인쇄회로기판을 고정하는 기판 고정부를 포함하는 대기압 플라즈마를 이용한 인쇄회로기판의 세정장치
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제9항에 있어서, 상기 기판 고정부의 위치나 개수는 상기 인쇄회로기판의 크기, 상기 접지전극에 놓인 인쇄회로기판의 수, 상기 비어홀의 직경, 상기 비어홀의 길이, 상기 흡입부의 크기, 상기 흡입부의 형태에 따라 달라지는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마를 이용한 인쇄회로기판의 세정장치
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제9항에 있어서, 상기 기판 고정부의 끝부분에는 상기 인쇄회로기판을 고정할 수 있는 고정판이 설치되어 있는 것을 대기압 플라즈마를 이용한 인쇄회로기판의 세정장치
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