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확산 흐름을 이용하여 해수에 포함된 유해물질을 검출하는 유해물질 검출센서 구조체 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015196312
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 포어 구조체를 구비하여 외부의 전원 공급없이 오염 해수의 확산 흐름을 이용함으로써 오염 해수 내에 포함되어 있는 유해물질(HNS, Hazardous and Noxious Substance)의 유무 및 그 농도를 검출할 수 있는 확산 흐름을 이용하여 해수에 포함된 유해물질(HNS)을 검출하는 유해물질 검출센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 유해물질 검출센서 구조체는 오염 해수를 공급하는 기판의 상측에 중공 형태로 형성된 나노포어와, 상기 나노포어의 양단으로부터 단차지게 형성되고, 상기 나노포어 보다 직경이 큰 제 1 마이크로포어 및 상기 제 1 마이크로포어의 양단으로부터 단차지게 형성되고, 상기 제 1 마이크로포어 보다 직경이 큰 제 2 마이크로포어를 포함하고, 상기 기판의 하측에는 상기 오염 해수보다 낮은 이온 농도를 함유하는 정상 해수를 공급하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G01N 27/26 (2006.01) G01N 33/18 (2006.01)
CPC G01N 33/18(2013.01) G01N 33/18(2013.01) G01N 33/18(2013.01)
출원번호/일자 1020120110103 (2012.10.04)
출원인 한국해양과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0046520 (2014.04.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 취하
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020140191102;
심사청구여부/일자 Y (2012.10.04)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국해양과학기술원 대한민국 부산광역시 영도구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정정열 대한민국 대전 유성구
2 이문진 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정수 대한민국 서울시 송파구 올림픽로 ***(방이동) *층(이수국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.10.04 취하 (Withdrawal) 1-1-2012-0804645-71
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.11.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5228701-61
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0079660-37
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0221826-91
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0505479-87
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0505481-79
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.07.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5084020-12
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0656071-17
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-1019723-35
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2014.10.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-1019724-81
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-1137121-05
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0811290-46
14 [특허 등 절차 취하]취하(포기)서
[Withdrawal of Procedure such as Patent, etc.] Request for Withdrawal (Abandonment)
2014.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-1266328-30
15 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2014.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-1266207-14
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.06.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-0034176-95
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.01.23 수리 (Accepted) 4-1-2018-5013167-10
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.10 수리 (Accepted) 4-1-2018-5131202-66
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5042665-74
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5235797-63
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번호 청구항
1 1
확산 흐름을 이용하여 해수에 포함된 유해물질(HNS)을 검출하는 유해물질 검출센서 구조체에 있어서,오염 해수를 공급하는 기판의 상측에 중공 형태로 형성된 나노포어;상기 나노포어의 양단으로부터 단차지게 형성되고, 상기 나노포어 보다 직경이 큰 제 1 마이크로포어; 및상기 제 1 마이크로포어의 양단으로부터 단차지게 형성되고, 상기 제 1 마이크로포어 보다 직경이 큰 제 2 마이크로포어;를 포함하고,상기 기판의 하측에는 상기 오염 해수보다 낮은 이온 농도를 함유하는 정상 해수를 공급하는 것을 특징으로 하는 유해물질 검출센서 구조체
2 2
제 1 항에 있어서,상기 기판은 소자층, SiO2 매립층 및 P형 핸들 웨이퍼로 이루어지는 SOI(Silicon-On-Insulator) 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 유해물질 검출센서 구조체
3 3
제 1 항에 있어서,상기 오염 해수의 이온 입자는 상기 나노포어를 통해 상기 제 2 마이크로포어로 이동되는 것을 특징으로 하는 유해물질 검출센서 구조체
4 4
제 3 항에 있어서,상기 오염 해수의 이온 입자는 상기 나노포어와 상기 제 1 마이크로포어 및 제 2 마이크로포어의 농도 기울기(concentration gradient)를 통한 확산 흐름으로 이동되는 것을 특징으로 하는 유해물질 검출센서 구조체
5 5
확산 흐름을 이용하여 해수에 포함된 유해물질(HNS)을 검출하는 유해물질 검출센서 구조체의 제조방법에 있어서,기판의 상측에 반응성 이온 에칭(Reactive Ion Etching)법을 이용하여 중공 형태의 나노포어(nanopore)를 형성하는 제 1 단계;상기 기판의 하측에 상기 나노포어의 중심과 일치하는 지점에서 중공 형태의 제 2 마이크로포어(micropore)를 형성하는 제 2 단계; 및상기 나노포어와 상기 제 2 마이크로포어 사이에 제 1 마이크로포어를 형성하는 제 3 단계;를 포함하고,상기 제 1 마이크로포어는 상기 나노포어의 양단으로부터 단차지게 형성되어 상기 나노포어 보다 직경이 크고, 상기 제 2 마이크로포어는 상기 제 1 마이크로포어의 양단으로부터 단차지게 형성되어 상기 제 1 마이크로포어 보다 직경이 큰 것을 특징으로 하는 유해물질 검출센서 구조체의 제조방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 제 2 단계에서, 상기 제 2 마이크로포어는 DRIE(Deep Reactive Ion Etching)에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 유해물질 검출센서 구조체의 제조방법
7 7
제 5 항에 있어서,상기 제 3 단계에서, 상기 제 1 마이크로포어는 열 산화 공정을 통해 형성하는 것을 특징으로 하는 유해물질 검출센서 구조체의 제조방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020150014423 KR 대한민국 FAMILY

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국해양과학기술원 한국해양연구원 연구 운영비 지원 주요 위험유해물질(HNS) 유출 거동예측 및 대응정보 지원기술 개발(1/3)