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확산 흐름을 이용한 이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템에 있어서,측정 유체와 기준 유체가 수용되는 챔버;상기 챔버 내에 장착되고, 상기 측정 유체가 수용되는 제 1 영역과 상기 기준 유체가 수용되는 제 2 영역을 분리하는 이산화탄소의 농도 측정센서; 및상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역에 연결되어 상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역 사이의 이온 전류를 검출하는 전류량 검출기;를 포함하고,상기 기준 유체는 상기 측정 유체보다 낮은 이온 농도를 함유하는 것을 특징으로 하는 이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 이산화탄소의 농도 측정센서는,측정 유체를 공급하는 기판의 상측에 중공 형태로 형성된 나노포어;상기 나노포어의 양단으로부터 단차지게 형성되고, 상기 나노포어 보다 직경이 큰 제 1 마이크로포어; 및상기 제 1 마이크로포어의 양단으로부터 단차지게 형성되고, 상기 제 1 마이크로포어 보다 직경이 큰 제 2 마이크로포어;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템
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제 2 항에 있어서,상기 기판은 소자층, SiO2 매립층 및 P형 핸들 웨이퍼로 이루어지는 SOI(Silicon-On-Insulator) 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템
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제 2 항에 있어서,상기 측정 유체의 이온 입자는 상기 나노포어를 통해 상기 제 2 마이크로포어로 이동되는 것을 특징으로 하는 이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템
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제 5 항에 있어서,상기 측정 유체의 이온 입자는 상기 나노포어와 상기 제 1 마이크로포어 및 제 2 마이크로포어의 농도 기울기(concentration gradient)를 통한 확산 흐름으로 이동되는 것을 특징으로 하는 이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템
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확산 흐름을 이용한 적어도 하나 이상의 포어 구조체를 포함하여 구성되는 이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템에 있어서,각각의 상기 포어 구조체는,이산화탄소를 함유하는 측정 유체를 공급하는 기판의 상측에 중공 형태로 형성된 나노포어;상기 나노포어의 양단으로부터 단차지게 형성되고, 상기 나노포어 보다 직경이 큰 제 1 마이크로포어; 및상기 제 1 마이크로포어의 양단으로부터 단차지게 형성되고, 상기 제 1 마이크로포어 보다 직경이 큰 제 2 마이크로포어;를 포함하고,상기 기판의 하측에는 상기 측정 유체의 이온 농도보다 낮은 기준 유체를 공급하는 것을 특징으로 하는 이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템
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이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템을 이용한 이산화탄소 검출방법에 있어서,이산화탄소의 농도 측정센서로 분리된 챔버의 제 1 영역 및 제 2 영역에 측정 유체 및 상기 측정 유체의 이온 농도보다 낮은 기준 유체를 각각 공급하는 제 1 단계;상기 이산화탄소의 농도 측정센서에 구비된 포어 구조체를 통해 상기 제 1 영역에서 상기 제 2 영역으로 이동하는 이온 입자로 전기적 신호를 검출하는 제 2 단계; 및상기 검출된 전기적 신호에 근거하여 상기 측정 유체에 함유된 이산화탄소를 검출하는 제 3 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템을 이용한 이산화탄소 검출방법
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제 8 항에 있어서,상기 제 2 단계에서 검출되는 전기적 신호는 상기 제 2 영역에서 상기 제 1 영역으로 유동하는 이온 전류량인 것을 특징으로 하는 이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템을 이용한 이산화탄소 검출방법
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제 9 항에 있어서,상기 측정 유체에 함유되는 이산화탄소의 양이 증가하면 상기 이온 전류량은 증가하는 것을 특징으로 하는 이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템을 이용한 이산화탄소 검출방법
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제 9 항에 있어서,상기 측정 유체에 이산화탄소 농도와 상기 기준 유체의 이산화탄소 농도가 동일하면, 상기 이온 전류량은 검출되지 않는 것을 특징으로 하는 이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템을 이용한 이산화탄소 검출방법
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제 8 항에 있어서,상기 측정 유체의 이온 입자의 이동은 상기 포어 구조체의 농도 기울기(concentration gradient)를 통한 확산 흐름으로 수행되는 것을 특징으로 하는 이산화탄소의 농도 측정센서를 구비하는 측정 시스템을 이용한 이산화탄소 검출방법
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