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입력장치 및 디스플레이장치를 구비한 컴퓨터와, 컴퓨터에 연결되어 검사대상물을 촬영하는 카메라 및 렌즈와, 검사대상물을 조명하는 조명장치로 구성된 공지의 비전 검사 장치에 있어서,
검사대상물을 향한 전술한 렌즈 앞에 편광으로 검사대상물을 조명하는 편광조명기와, 검사대상물의 하단에서 렌즈 방향으로 검사대상물을 조명하는 백라이트로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 프로브 카드 미세 탐침의 비전 검사 장치
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청구항 1에 있어서,
전술한 편광조명기는 편광을 발생시키고 편광의 조절이 가능한 편광발생기와, 검사대상물 방향의 렌즈 앞에 설치되어 편광발생기로부터 입력받은 편광으로 검사대상물을 조명하는 편광조명부, 및 편광발생기와 편광조명부를 연결하여 발광되는 편광을 편광조명부에 공급하는 광섬유로 된 광케이블로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 프로브 카드 미세 탐침의 비전 검사 장치
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청구항 2에 있어서,
전술한 편광발생기는 전력을 공급받아 발광다이오드를 통해 광을 발생시키는 발광부와, 발광부에서 발광한 광의 특정 파장만을 통과시키는 편광필터와, 발광부의 전력 및 편광필터를 조절하여 편광의 밝기 및 파장을 조절하는 조절부로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 프로브 카드 미세 탐침의 비전 검사 장치
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청구항 1에 있어서,
전술한 백라이트는 발광다이오드로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 프로브 카드 미세 탐침의 비전 검사 장치
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입력장치 및 디스플레이장치를 구비한 컴퓨터와, 컴퓨터에 연결되어 검사대상물을 촬영하는 카메라 및 렌즈와, 검사대상물을 조명하는 조명장치로 구성된 청구항 1의 웨이퍼 프로브 카드 미세 탐침의 비전 검사 장치를 이용하여,
비전 검사 장치의 검사대의 고정 위치에 검사대상물을 고정하고, 편광조명기를 조절하여 검사에 적합한 편광으로 검사대상물을 조명하며 촬영하고, 촬영된 영상을 컴퓨터로 전송하는 영상 입력 단계와,
상기 영상 입력 단계에서 입력된 입력 영상을 정확한 측정을 위하여 영상처리하는 전처리 단계와,
상기 전처리 단계에서 처리된 입력 영상에서 정확한 각도 측정을 위한 기준점을 정의하는 기준점 정의 단계와,
상기 기준점 정의 단계에서 정의한 기준점을 기준으로 미세 탐침의 꺾어진 각도를 측정하는 각도 측정 단계와,
상기 기준점 정의 단계에서 정의한 기준점을 기준으로 미세 탐침의 높이를 측정하는 높이 측정 단계와,
상기 기준점 정의 단계에서 정의한 기준점을 기준으로 미세 탐침의 끝 부분의 종단 직경을 측정하는 종단 직경 측정 단계와,
각 측정 단계에서 측정한 측정값 및 분석 결과를 출력하여 표시하는 검사 결과 표시 단계로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 프로브 카드 미세 탐침의 비전 검사 시스템
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청구항 5에 있어서,
전술한 전처리 단계는 영상 입력 단계에서 입력된 입력 영상에서 렌즈의 곡률에 의한 오차를 보정하는 곡률오차보정과, 노이즈 제거를 위한 침식연산 및 팽창연산과, 입력 영상 에지의 선명도를 향상시키기 위한 하이패스필터를 적용 실시하는 단계임을 특징으로 하는 웨이퍼 프로브 카드 미세 탐침의 비전 검사 장치
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청구항 5에 있어서,
전술한 기준점 정의 단계는 입력 영상의 에지를 감지하여 길이가 짧은 방향의 꺾임점과 미세 탐침의 끝점을 기준점으로 정의하고, 입력 영상에서 정의된 기준점의 픽셀값을 기준점값으로 설정하는 단계임을 특징으로 하는 웨이퍼 프로브 카드 미세 탐침의 비전 검사 장치
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청구항 7에 있어서,
전술한 기준점은 꺾임점에서의 종방향 선분과 끝점에서의 횡방향 선분이 교차하는 교차점을 가상의 기준점으로 포함함을 특징으로 하는 웨이퍼 프로브 카드 미세 탐침의 비전 검사 장치
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청구항 5 내지 청구항 8에 있어서,
전술한 각도 측정 단계는 꺾임점과 끝점을 잇는 선분과 끝점의 횡방향 선분이 이루는 각도1(Ang1)과, 꺾임점에서의 횡방향 선분과 꺾임점을 기준으로 탐침 몸체의 에지 선분이 이루는 각도2(Ang2)를 측정하여 탐침의 꺾임 각도를 구하는 단계임을 특징으로 하는 웨이퍼 프로브 카드 미세 탐침의 비전 검사 장치
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청구항 5 내지 청구항 8에 있어서,
전술한 높이 측정 단계는 꺾임점과 끝점 사이의 픽셀 개수와, 끝점과 교차점 사이의 픽셀 개수를 측정하여 꺾어진 탐침의 높이를 측정하는 단계임을 특징으로 하는 웨이퍼 프로브 카드 미세 탐침의 비전 검사 장치
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청구항 5 내지 청구항 8에 있어서,
전술한 종단 직경 측정 단계는 직교좌표계를 기준으로 종단 직경의 양단에서 일단의 수직선과 타단의 수평선이 교차하는 교차점까지의 픽셀 개수를 측정하여 미세 탐침 끝단의 종단 직경을 측정하는 단계임을 특징으로 하는 웨이퍼 프로브 카드 미세 탐침의 비전 검사 장치
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