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기판 상에 선택적 식각을 통해 마이크로 로드를 형성하는 단계;상기 마이크로 로드를 식각하여 마이크로 팁을 형성하는 단계;상기 마이크로 팁 상에 도전층 및 보호막을 순차적으로 형성하는 단계; 및상기 마이크로 팁의 말단부에 형성된 상기 보호막을 제거하여 상기 마이크로 팁의 말단부 상의 상기 도전층을 노출시키는 단계를 포함하는 마이크로 팁 구조물의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 마이크로 로드를 형성하는 단계는,상기 기판 상에 마스크층을 형성하는 단계;상기 마스크층을 선택적으로 식각하여 패턴화 마스크층을 형성하는 단계;상기 패턴화 마스크층을 식각 마스크로 하여 상기 기판에 대한 식각을 수행하여 상기 마이크로 로드를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 팁 구조물의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 마이크로 로드의 식각은 등방성 RIE 식각을 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 팁 구조물의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 마이크로 팁의 말단부에 형성된 상기 보호막을 제거하는 단계는,상기 마이크로 팁들 사이의 이격공간을 매립하는 포토레지스트를 도포하는 단계; 및 상기 포토레지스트에 대한 에치백 공정을 통해 상기 마이크로 팁 말단부에 형성된 상기 보호막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 팁 구조물의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 마이크로 팁들 사이의 이격공간을 매립하는 포토레지스트는 그 높이가 마이크로 팁의 말단부의 높이보다 낮도록 설정되는 것을 특징으로 하는 마이크로 팁 구조물의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 마이크로 로드를 형성하는 단계는,상기 기판 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 이용하여 상기 기판에 대한 식각을 수행하여 상기 마이크로 로드를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 팁 구조물의 제조방법
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유전체 기판;상기 유전체 기판을 관통하며 도전물로 구성된 비아 플러그;상기 비아 플러그 상에 형성되고 뾰쪽한 형상을 가지는 마이크로 팁;상기 마이크로 팁 상에 형성된 도전층; 및상기 도전층 상에 형성된 보호막을 포함하고,상기 도전층은 이웃하는 마이크로 팁 상에 형성된 다른 도전층과 물리적으로 분리되고, 상기 마이크로 팁의 말단부에 형성된 상기 도전층은 노출되는 것을 특징으로 하는 마이크로 팁 구조물
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제11항에 있어서, 상기 도전층은 상기 비아 플러그의 노출된 표면 상에 형성되어 상기 비아 플러그와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 마이크로 팁 구조물
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제11항에 있어서, 상기 도전층은 상기 이웃하는 마이크로 팁 상에 형성된 다른 도전층과 물리적으로 분리된 것을 특징으로 하는 마이크로 팁 구조물
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제11항에 있어서, 상기 유전체 기판은 유리 기판이고, 상기 마이크로 팁은 실리콘 재질인 것을 특징으로 하는 마이크로 팁 구조물
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패터닝된 제1 기판 상의 홈부를 매립하는 유전체 기판을 형성하는 단계;상기 유전체 기판의 이격 공간 사이를 매립하고, 상기 유전체 기판을 관통하는 비아 플러그를 형성하는 단계;상기 제1 기판의 홈부 반대편을 식각하여 마이크로 팁을 형성하는 단계;상기 마이크로 팁 상에 도전층 및 보호막을 순차적으로 형성하는 단계; 및상기 마이크로 팁 상에 형성된 도전층을 이웃하는 마이크로 팁 상에 형성된 다른 도전층과 서로 분리시키는 단계를 포함하는 마이크로 팁의 제조방법
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제15항에 있어서, 상기 유전체 기판을 형성하는 단계는,상기 제1 기판을 패터닝하여 상기 홈부를 형성하는 단계;상기 제1 기판의 홈부 상에 제2 기판을 배치시키는 단계;상기 제2 기판을 리플로우 시키고, 상기 제2 기판의 일부가 상기 홈부를 매립하도록 하는 단계; 및상기 제2 기판에 대한 평탄화 공정을 통해 상기 홈부 상의 제2 기판을 제거하여 상기 홈부를 매립하는 유전체 기판을 잔류시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 팁의 제조방법
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제15항에 있어서, 상기 비아 플러그를 형성하는 단계는,상기 유전체 기판 사이의 상기 제1 기판의 돌출부위를 제거하는 단계; 및상기 제1 기판의 돌출부위가 제거된 부분에 도전물을 매립하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 팁의 제조방법
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제15항에 있어서, 상기 마이크로 팁을 형성하는 단계는,상기 제1 기판의 홈부 반대편 상에 마스크층을 형성하는 단계;상기 마스크층을 패터닝하는 단계;상기 패터닝된 마스크층을 식각 마스크로 이용하여 상기 유전체 기판의 노출된 부위 상의 상기 제1 기판을 식각하여 마이크로 로드를 형성하는 단계; 및상기 마이크로 로드를 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 팁의 제조방법
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제18항에 있어서, 상기 제1 기판의 식각은 상기 비아 플러그의 표면 일부가 노출되도록 수행되는 것을 특징으로 하는 마이크로 팁의 제조방법
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제15항에 있어서, 상기 마이크로 팁은 상기 비아 플러그 상에 형성되고, 상기 마이크로 팁 상에 형성된 상기 도전층은 상기 비아 플러그에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 마이크로 팁의 제조방법
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