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분광학적 타원해석법을 이용하는 타겟박막층의 밴드 갭 및 물리적 결함 측정 방법

  • 기술번호 : KST2015197091
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 일 실시 예에 따르는 분광학적 타원해석법을 이용하는 타겟박막층의 밴드 갭 및 물리적 결함 측정 방법은 먼저 기판 및 상기 기판 상에 배치되는 타겟박막층을 포함하는 타겟물질을 준비한다. 타원해석기를 이용하여 상기 타겟물질에 편광된 광을 입사하고 상기 타겟물질로부터 반사되는 광의 엘립소메티리 측정값 (Δ,Ψ)을 획득한다. 상기 측정값 (Δ,Ψ)에 대하여 코시 함수를 이용하는 모델링을 수행하여 상기 타겟박막층의 두께를 산출한다. 상기 측정값 (Δ,Ψ)에 대한 상기 기판의 기여분을 제거한 결과 및 상기 산출된 상기 타겟박막층의 두께를 이용하여 상기 타겟박막층의 흡수 계수 그래프를 추출한다. 상기 흡수 계수 그래프과 피팅(fitting)을 이룰 수 있는 피팅 모델 함수를 결정한다. 상기 피팅 모델 함수와 상기 측정값 (Δ,Ψ)을 비교하여 피팅의 부합여부를 결정한다.
Int. CL G01B 11/06 (2006.01) G01N 21/88 (2006.01)
CPC G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01)
출원번호/일자 1020110053418 (2011.06.02)
출원인 단국대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1261495-0000 (2013.04.30)
공개번호/일자 10-2012-0134493 (2012.12.12) 문서열기
공고번호/일자 (20130513) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.02)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 단국대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 수지구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정권범 대한민국 서울특별시 성동구
2 박진성 대한민국 경기도 성남시 분당구
3 박현우 대한민국 경기도 성남시 수정구
4 한경주 대한민국 서울특별시 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남정길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 인화빌딩 *층 (삼성동)(특허법인(유한)아이시스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 단국대학교 산학협력단 경기 용인시 수지구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.06.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0417107-17
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0536149-37
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.03.07 수리 (Accepted) 4-1-2012-5047629-25
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.09.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.10.08 수리 (Accepted) 9-1-2012-0076901-97
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0629677-62
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-1047449-51
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.12.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1047460-54
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0122481-53
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.03.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0254764-39
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0254758-65
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0284657-46
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.06 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000870-18
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.10.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5239146-54
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
분광학적 타원해석법을 이용하는 타겟박막층의 밴드 갭 및 물리적 결함 측정 방법에 있어서,(a) 기판 및 상기 기판 상에 배치되는 타겟박막층을 포함하는 타겟물질을 준비하는 과정;(b) 상기 타겟물질에 편광된 광을 입사하고 상기 타겟물질로부터 반사되는 광의 엘립소메티리 측정값 (Δ,Ψ)을 타원해석기를 이용하여 획득하는 과정;(c) 상기 측정값 (Δ,Ψ)에 대하여 코시 함수를 이용하는 모델링을 수행하여 상기 타겟박막층의 두께를 산출하는 과정;(d) 상기 측정값 (Δ,Ψ)에 대한 상기 기판의 기여분을 제거한 결과 및 상기 산출된 상기 타겟박막층의 두께를 이용하여 상기 타겟박막층의 흡수 계수 그래프를 추출하는 과정;(e) 상기 흡수 계수 그래프와 부합하는 피팅 모델 함수를 결정하는 과정;(f) 상기 피팅 모델 함수와 상기 측정값 (Δ,Ψ)을 비교하여 상기 흡수 계수 그래프의 부합 여부를 결정하는 과정;(g) 상기 피팅 모델 함수 그래프의 기울기의 변화 정도를 기준으로 상기 타겟박막층의 밴드갭 에너지를 산정하는 과정; 및(h) 상기 흡수 계수 그래프의 상기 밴드갭 에너지 이하의 영역에서 상기 타겟박막층의 결함 정도를 산정하는 과정을 순차적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 분광학적 타원해석법을 이용하는 타겟박막층의 밴드 갭 및 물리적 결함 측정 방법
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제1 항에 있어서,상기 타겟박막층은 산화물 반도체 또는 산화물 전도체를 포함하는 분광학적 타원해석법을 이용하는 타겟박막층의 밴드 갭 및 물리적 결함 측정 방법
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삭제
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삭제
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제1 항에 있어서,(e) 과정의 상기 피팅 모델 함수는로렌츠 조화 진동(Lorentz harmonic oscillator) 모델, 드루드(Drude) 자유전자 모델, 코시(Cauchy) 모델, 셀마이어(Sellmeir) 모델, 포로우히-블루머(Forouhi-Bloomer) 모델 및 타우-로렌츠(Tauc-Lorentz) 모델로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 분광학적 타원해석법을 이용하는 타겟박막층의 밴드 갭 및 물리적 결함 측정 방법
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제1 항에 있어서,(a) 과정 내지 (f) 과정을 순차적으로 진행하되,(f) 과정에서 상기 피팅 모델 함수와 상기 측정값 (Δ,Ψ)간의 피팅이 부합하지 않는 경우, 상기 (e) 및 (f) 과정을 반복하는분광학적 타원해석법을 이용하는 타겟박막층의 밴드 갭 및 물리적 결함 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 단국대학교 기본연구지원사업 고신뢰성/고효율을 갖는 차세대 능동구동 소자 응용을 위한 산화물 반도체의 결함 준위와 전하수송 메카니즘의 상관관계 연구