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플렉시블 기판을 준비하고,상기 플렉시블 기판 상에 원자층 박막을 형성하고,상기 원자층 박막 상에 제 1 전극을 형성하고, 상기 원자층 박막 상에 제 1 전극과 이격되는 위치에 소스/드레인 전극을 형성하고, 상기 소스/드레인 전극 상에 반도체층을 형성하고,상기 기판 전면에 걸쳐 위치하며, 상기 제 1 전극의 일부를 노출시키는 보호막을 형성하고,상기 제 1 전극 상에 위치하는 유기막층을 형성하고,상기 반도체층에 대응되는 게이트 전극을 형성하고, 상기 유기막층에 대응되는 제 2 전극을 형성하는 것을 포함하며,상기 원자층 박막은 Al2O3를 포함하는 무기물로 형성되며, 상기 제 1 전극은 Al을 1 내지 5atom% 포함하는 AlZnO으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 유기전계발광표시장치의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 원자층 박막 및 제 1 전극은 원자층 증착법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 유기전계발광표시장치의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 원자층 박막과 상기 제 1 전극은 동일한 챔버 내에서 형성되며, 동일한 챔버 내에 공급되는 무기물의 조성을 변화시켜 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 유기전계발광표시장치의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 플렉시블 기판은 플라스틱재 기판인 것을 특징으로 하는 플렉시블 유기전계발광표시장치의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 원자층 박막은 Al2O3 박막 또는 AlZnO 박막인 것을 특징으로 하는 플렉시블 유기전계발광표시장치의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 원자층 박막은 Al2O3층과 ZnO층의 혼합층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 유기전계발광표시장치의 제조방법
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제12항 또는 제13항에 있어서,상기 원자층 박막은 Al을 10atom% 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 유기전계발광표시장치의 제조방법
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