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유체가 수용되는 압력저장용기;상기 압력저장용기 및 진공용기를 연결하는 유체 이송관로 내에 배치되며, 상기 유체의 누설율을 조절하는 격막 구조체;상기 격막 구조체에 열원을 공급하는 히터; 및상기 히터로부터 공급되는 열량을 조절하는 제어기;를 포함하는,유체 누설 공급 장치
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제 1 항에 있어서,상기 격막 구조체의 두께를 d, 상기 격막 구조체의 면적을 A, 상기 압력저장용기의 압력을 Ph, 및 상기 격막 구조체의 두께와 면적에 따라 결정되는 투과율을 n으로 정의할 때, 상기 유체의 투과도 K는 하기의 수식과 같이 나타낼 수 있는 것을 특징으로 하는,유체 누설 공급 장치
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제 2 항에 있어서,상기 유체 누설 공급 장치는,상기 유체 이송관로와 상기 진공용기를 결합하는 연결부;를 더 포함하고,상기 연결부는 상기 진공용기와 밀폐 구조로 이루어져 상기 격막 구조체를 통한 유체가 누설되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는,유체 누설 공급 장치
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제 1 항에 있어서,상기 격막 구조체는 스테인레스 계열 및 세라믹 재질로 이루어진 그룹 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,유체 누설 공급 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 유체는 수소, 중수소, 및 삼중수소로 이루어진 그룹 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,유체 누설 공급 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 유체는 헬륨인 것을 특징으로 하는,유체 누설 공급 장치
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 하나의 항에 따른 유체 누설 공급 장치를 포함하며, 상기 유체 누설 공급 장치의 유체 누설율 조절에 의해 압력 조절이 가능한 것을 특징으로 하는,압력 조절 장치
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 하나의 항에 따른 유체 누설 공급 장치를 포함하며, 상기 유체 누설 공급 장치의 유체 누설율 조절에 의해 초진공 측정이 가능한 것을 특징으로 하는,초진공 측정 장치
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 하나의 항에 따른 유체 누설 공급 장치를 포함하며, 상기 유체 누설 공급 장치의 유체 누설율 조절에 의해 초진공 생성이 가능한 것을 특징으로 하는,초진공 생성 장치
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