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내부에 미세 채널이 형성된 미세 유동 유니트가 안착되며, 상기 미세 유동 유니트가 안착되는 가동자 본체 및 상기 가동자 본체의 에지에서 연장된 가동자 핑거를 포함하는 가동부; 및상기 가동부를 일 방향으로 반복적으로 진동시키며, 상기 가동자 본체의 에지에 각각 대응하는 다수의 고정자 유니트를 포함하는 고정부를 포함하되,상기 각 고정자 유니트는 대응하는 상기 가동자 본체의 에지에서 이격된 고정자 본체 및 상기 고정자 본체로부터 상기 가동자 본체로 연장된 다수의 고정자 핑거를 포함하여, 상기 미세 유동 유니트에 진동을 가하여 상기 미세 채널에 유입된 유체의 유동 방향을 조절하는 것을 특징으로 하는 미세 유동 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가동자 핑거는 이웃하는 가동자 핑거와 이격되며, 상기 고정자 핑거는 이웃하는 고정자 핑거와 이격되는 것을 특징으로 하는 미세 유동 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가동자 핑거는 대응하는 상기 고정자 핑거 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 미세 유동 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가동자 본체와 외부 지지체를 연결하는 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유동 장치
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제 5 항에 있어서, 상기 스프링은 상기 가동자 본체의 각 모서리에 고정된 것을 특징으로 하는 미세 유동 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 미세 유동 유니트의 상기 미세 채널은 길이 방향이 다른 적어도 두 개의 미세관이 연통되어 형성된 것을 특징으로 하는 미세 유동 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 미세 유동 유니트는 상기 미세 채널 내부로 유체를 유입시키거나 또는 상기 미세 채널 내의 유체를 외부로 배출시키기 위한 적어도 하나의 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유동 장치
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