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평면에 형성된 불순물을 정해진 영역 내로 포집하는 불순물 포집 디바이스에 있어서,상기 불순물 포집 디바이스는상기 평면에 표면 음향 유동을 형성하는 음향 유동부를 포함하고,상기 음향 유동부는 상기 평면과 이격되어 나란하게 형성되고, 정재파를 생성하여 상기 평면에 음향 유동에 따른 마디선을 형성하며, 상기 음향 유동부는 양측에 상기 음향 유동부와 수직하게 형성된 지지부에 의해 결합된 불순물 포집 디바이스
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제 1 항에 있어서,상기 음향 유동부가 상기 평면과 이격된 거리는 상기 정재파의 파장과 동일한 불순물 포집 디바이스
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제 1 항에 있어서,상기 마디선은 상기 정재파의 배를 기준으로 중심에 형성되는 불순물 포집 디바이스
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제 1 항에 있어서,상기 평면상의 불순물은 상기 마디선을 중심으로 모여서 포집되는 불순물 포집 디바이스
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제 1 항에 있어서,상기 평면은 상기 음향 유동부를 기준으로 양면에 각각 위치한 한 쌍으로 형성된 불순물 포집 디바이스
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평면에 형성된 불순물을 정해진 영역 내로 포집하는 불순물 포집 디바이스에 있어서,상기 불순물 포집 디바이스는상기 평면에 표면 음향 유동을 형성하는 음향 유동부를 포함하고,상기 음향 유동부는 일측이 고정된 상기 평면의 타측에 결합되고, 상기 평면을 상하 방향에서 진동하여 상기 평면에 표면 음향 유동을 형성하는 불순물 포집 디바이스
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제 9 항에 있어서,상기 음향 유동부는 평면의 양측에 결합되고, 상기 평면을 상하 방향에서 진동하는 불순물 포집 디바이스
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