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다수의 미세입자를 질량 또는 질량밀도의 차이에 따라 분리하는 장치로,일단부에 입구가 형성되고, 타단부에 출구가 형성되고, 내부에 다수의 비드를 구비하며, 소정 길이를 갖는 미세 채널부;상기 입구를 통해 상기 일단부에서 상기 타단부 방향으로 유체와 다수의 미세입자를 각각 공급하는 공급부; 및상기 다수의 미세입자가 질량 또는 질량밀도에 따라 서로 다른 진폭으로 진동하여 상기 비드들과의 충돌에 따른 진행속도가 서로 달라지도록 상기 미세 채널부로 고주파를 인가하는 고주파 인가부를 포함하고,상기 다수의 비드는 상기 다수의 미세입자보다 질량과 크기가 크게 이루어진 것을 특징으로 하는 미세입자 분리장치
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제 1 항에 있어서,상기 출구의 폭은, 상기 다수의 미세입자의 직경보다 크고, 상기 다수의 비드의 직경보다 작게 이루어진 것을 특징으로 하는 미세입자 분리장치
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제 1 항에 있어서,상기 다수의 미세입자와 상기 다수의 비드의 질량 비는 1:1000인 것을 특징으로 하는 미세입자 분리장치
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제 1 항에 있어서,상기 다수의 비드는 이산화규소(SiO2)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 미세입자 분리장치
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제 1 항에 있어서,상기 일단부에는 제 1 입구와 제 2 입구가 형성되며,상기 공급부는,상기 제 1 입구를 통해 상기 유체를 공급하는 유체 공급부; 및상기 제 2 입구를 통해 상기 다수의 미세입자를 공급하는 미세입자 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세입자 분리장치
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제 1 항에 있어서,상기 고주파 인가부는 상기 다수의 미세입자가 상기 유체의 유동방향에 수직한 방향으로 진동하도록 상기 고주파를 인가하는 것을 특징을 하는 미세입자 분리장치
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제 1 항에 있어서,상기 다수의 미세입자 중 질량 또는 질량밀도의 차이에 따라 분리되어 상기 출구를 통해 방출되는 미세입자를 수거하는 수거부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세입자 분리장치
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제 1 항의 미세입자 분리장치를 이용하여 다수의 미세입자를 질량 또는 질량밀도의 차이에 따라 분리 수거하는 방법으로,상기 미세 채널부에 유체와 다수의 미세입자를 공급하는 유체 및 미세입자 공급단계;상기 다수의 미세입자가 질량 또는 질량밀도에 따라 서로 다른 진폭으로 진동하여 상기 비드들과의 충돌에 따른 진행속도가 서로 달라지도록 상기 고주파 인가부를 통해 상기 미세 채널부로 고주파를 인가하는 고주파 인가단계; 및상기 다수의 미세입자 중 상기 출구를 통해 방출되는 미세입자를 분리 수거하는 제 1 미세입자 분리수거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세입자 분리수거방법
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제 8 항에 있어서,상기 제 1 미세입자 분리수거단계를 수행한 후 연속적으로 수행하는 제 2 미세입자 분리수거단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세입자 분리수거방법
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제 9 항에 있어서,상기 제 1 미세입자 분리수거단계는 상기 다수의 미세입자 중 제 1 미세입자를 분리 수거하고,상기 제 2 미세입자 분리수거단계는 상기 다수의 미세입자 중 상기 제 1 미세입자보다 상대적으로 질량 또는 질량밀도가 작은 제 2 미세입자를 분리 수거하는 것을 특징으로 하는 미세입자 분리수거방법
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제 9 항에 있어서,상기 제 1 미세입자 분리수거단계를 수행한 후, 상기 고주파 인가부를 오프시킨 상태에서 유체만을 공급하여, 상기 다수의 미세입자 중 또 다른 미세입자를 수거하는 제 2 미세입자 분리수거단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세입자 분리수거방법
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제 11 항에 있어서,상기 제 1 미세입자 분리수거단계는 상기 다수의 미세입자 중 제 1 미세입자를 분리 수거하고,상기 제 2 미세입자 분리수거단계는 상기 다수의 미세입자 중 상기 제 1 미세입자보다 상대적으로 질량 또는 질량밀도가 작은 제 2 미세입자를 분리 수거하는 것을 특징으로 하는 미세입자 분리수거방법
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제 8 항에 있어서,상기 출구의 폭은 상기 다수의 미세입자의 직경보다 크고, 상기 다수의 비드의 직경보다 작게 이루어진 것을 특징으로 하는 미세입자 분리수거방법
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제 8 항에 있어서,상기 다수의 미세입자와 상기 다수의 비드의 질량 비는 1:1000인 것을 특징으로 하는 미세입자 분리수거방법
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제 8 항에 있어서,상기 다수의 비드는 이산화규소(SiO2)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 미세입자 분리수거방법
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제 8 항에 있어서,상기 고주파 인가 및 미세입자 분리단계에서는, 상기 다수의 미세입자가 상기 유체의 유동방향에 수직한 방향으로 진동하도록 상기 고주파를 인가하는 것을 특징을 하는 미세입자 분리수거방법
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