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제1 기판 상에 염의 결정립 패턴을 형성하는 단계;상기 염의 결정립 패턴을 제2 기판으로 전사하여 결정립 전사 패턴을 형성하는 단계;상기 제2 기판의 상기 결정립 전사 패턴에 도전성 잉크를 매립하는 단계; 및상기 결정립 전사 패턴에 매립된 도전성 잉크를 제3 기판에 전사하는 단계를 포함하는 금속 전극의 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 염의 결정립 패턴을 형성하는 단계는,염이 용해된 수용액을 상기 제1 기판에 코팅하는 단계; 및상기 코팅된 수용액의 수분을 증발시키고, 상기 염의 재결정을 유도하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 전극의 형성방법
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제2항에 있어서 상기 염은 Na2CO3 인 것을 특징으로 하는 금속 전극의 형성방법
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제2항에 있어서, 상기 수용액에서 상기 염의 농도는 0
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제1항에 있어서, 상기 제2 기판 상에 상기 결정립 전사 패턴을 형성하는 단계는,PDMS와 경화제를 혼합한 혼합용액을 형성하는 단계;상기 혼합용액을 상기 제1 기판 상에 도입하여 유연성을 가진 제2 기판을 형성하고, 상기 제2 기판의 표면으로부터 함몰된 음각의 상기 결정립 전사 패턴을 형성하는 단계; 및상기 결정립 전사 패턴이 형성된 상기 제2 기판을 상기 제1 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 전극의 형성방법
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제5항에 있어서, 상기 제2 기판을 상기 제1 기판으로부터 분리하는 단계는, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판에 수분을 도입하여 상기 결정립 패턴을 용해시키는 것을 특징으로 하는 금속 전극의 형성방법
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7
제1항에 있어서, 상기 결정립 전사 패턴에 도전성 잉크를 매립하는 단계는,상기 제2 기판에 도전성 잉크를 코팅하는 단계; 및상기 도전성 잉크가 코팅된 상기 제2 기판을 드래깅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 전극의 형성방법
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제7항에 있어서, 상기 도전성 잉크는 은을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 전극의 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 결정립 패턴은 뿌리 형상 또는 트리 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 금속 전극의 형성방법
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제1 기판 상에 염의 결정립 패턴을 형성하는 단계;상기 제1 기판 상에 금속층을 형성하여 상기 결정립 패턴을 매립하는 단계; 및상기 결정립 패턴을 용해하여 상기 제1 기판의 표면 일부를 노출시키는 관통 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 금속 전극의 형성방법
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제10항에 있어서, 상기 염의 결정립 패턴을 형성하는 단계는,염이 용해된 수용액을 상기 제1 기판에 코팅하는 단계; 및상기 코팅된 수용액의 수분을 증발시키고, 상기 염의 재결정을 유도하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 전극의 형성방법
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제11항에 있어서 상기 염은 Na2CO3 인 것을 특징으로 하는 금속 전극의 형성방법
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제11항에 있어서, 상기 수용액에서 상기 염의 농도는 0
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제10항에 있어서, 상기 결정립 패턴은 뿌리 형상 또는 트리 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 금속 전극의 형성방법
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제10항에 있어서, 상기 결정립 패턴의 용해는 수분의 공급을 통해 달성하는 것을 특징으로 하는 금속 전극의 형성방법
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