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고체 시료로 레이저를 조사함에 의해 상기 고체 시료로부터 입자를 방출시키는 레이저 조사부;
상기 고체 시료로부터 방출되는 입자를 플라즈마로 생성하기 위하여, 상기 레이저 조사부와 연결되어 상기 고체 시료로부터 방출되는 시료를 제공받는 제1 유로를 갖는 내부관과 상기 내부관을 수납함에 의해 그 사이에 형성됨으로써 상기 내부관의 길이 방향에 대하여 수직 흐름(tangential flow)으로 냉각 가스를 제공받는 외부관을 구비하는 도입부와, 상기 도입부 내부관의 제1 유로와 연결되고, 상기 제1 유로를 통하여 제공되는 상기 고체 시료로부터 방출되는 시료를 플라즈마로 생성하는 반응부와, 상기 반응부로부터 상기 플라즈마로 생성된 고체 시료를 제공받는 챔버와, 상기 챔버 내에 위치하고, 상기 챔버로 상기 플라즈마로 생성된 고체 시료의 입자가 제공되는 방향과 반대 방향으로 커팅 가스를 분출하는 분출부를 포함하는 플라즈마 생성부; 및
상기 플라즈마 생성부와 연결되고, 상기 플라즈마로 생성된 상기 고체 시료의 입자로부터 발광되는 광을 X축 방향에서 검출 분석하는 제1 분석부와, 상기 플라즈마로 생성된 상기 고체 시료의 입자로부터 발광되는 광을 Y축 방향에서 검출 분석하는 제2 분석부를 구비하는 분석부를 포함하는 고체 시료 분석 장치
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제1 항에 있어서, 상기 제1 분석부는 특정 파장의 신호를 추출하는 모노크로미터(monochromator)와, 상기 모노크로미터와 연결되고, 상기 모노크로미터로부터 제공되는 신호를 증폭하는 광증폭튜브(photo multi tube : PMT) 및 상기 광증폭튜브와 연결되고, 상기 모노크로미터로부터 제공되는 신호를 디스플레이하는 디스플레이부를 포함하고, 상기 제2 분석부는 전하결합 검출기(charge coupled detector : CCD) 및 상기 전하결합 검출기와 연결되고, 상기 전하결합 검출부로부터 제공되는 신호를 디스플레이하는 디스플레이부를 포함하는 것을 특징으로 하는 고체 시료 분석 장치
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제1 항에 있어서, 상기 분석부는 수 일 내지 수 만ppm 이내를 측정 범위로 하는 것을 특징으로 하는 고체 시료 분석 장치
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고체 시료로 레이저를 조사함에 의해 상기 고체 시료로부터 입자를 방출시키는 레이저 조사부;
상기 고체 시료로부터 방출되는 입자를 플라즈마로 생성하기 위하여, 폴리디메틸실록산(poly(dimethylsiloxane) : PDMS)으로 이루어진 플레이트와, 상기 플레이트를 관통하는 유로를 포함하고, 상기 유로를 통하여 상기 플레이트로 상기 고체 시료로부터 방출되는 시료를 제공받는 채널과, 상기 플레이트에 삽입되면서 상기 유로를 중심으로 서로 마주하게 설치되고, 고주파 전력(RF power)이 인가되는 전극들을 포함하는 플라즈마 생성부; 및
상기 플라즈마 생성부와 연결되고, 상기 플라즈마로 생성된 상기 고체 시료의 입자 상태를 분석하는 분석부를 포함하는 고체 시료 분석 장치
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제4 항에 있어서, 상기 플라즈마 생성부에서 상기 플레이트는 가로 ㅧ 세로가 20 내지 50mm ㅧ 40 내지 70mm이고, 상기 유로는 0
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제4 항에 있어서, 상기 분석부는 상기 플라즈마 생성부 채널의 유로 일측에 삽입되는 프로버 및 상기 프로버와 연결되는 디스플레이부를 포함하는 것을 특징으로 하는 고체 시료 분석 장치
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제4 항에 있어서, 상기 분석부는 수 일 내지 수 만ppm 이내를 측정 범위로 하는 것을 특징으로 하는 고체 시료 분석 장치
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