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유기 박막 트랜지스터의 유기 반도체층 형성 방법, 이에 의해 형성된 유기 박막 트랜지스터, 이를 포함하는 표시 소자 및 그 표시 소자로 형성된 표시용 전자기기

  • 기술번호 : KST2015197777
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기 박막 트랜지스터의 유기 반도체층 형성 방법, 이에 의해 형성된 유기 박막 트랜지스터, 이를 포함하는 표시 소자 및 그 표시 소자로 형성된 표시용 전자기기에 관한 것으로, 유기 반도체층의 결정 성장 방향의 제어를 통하여 전하 이동도를 향상시키기 위한 것이다. 이러한 본 발명은 기판을 준비하는 과정, 상기 기판 위에 소스 전극과 드레인 전극 사이의 채널 영역에 액상의 결정성 유기 반도체를 도포하여 장축과 단축을 갖도록 형성하되, 장축과 단축 중앙부 영역이 채널 영역에서 이격되고, 단축이 상기 채널 영역이 형성된 방향에 나란하게 유기 반도체층을 형성하는 과정을 포함한다. 이때 기판을 준비하는 과정과 유기 반도체층을 형성하는 과정 사이에 수행되는, 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 과정, 게이트 전극 상에 게이트 절연막을 형성하는 과정, 및 게이트 절연막 상에 채널로 구성되는 일정 간격을 두고 대면되어 배치되는 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 과정을 더 포함할 수 있다. 유기 반도체층을 형성하는 과정에서 소스 전극 및 드레인 전극의 적어도 일부 영역과 채널 영역을 덮도록 유기 반도체층을 형성할 수 있다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01) G02F 1/136 (2006.01) H01L 51/00 (2006.01)
CPC H01L 51/0005(2013.01) H01L 51/0005(2013.01) H01L 51/0005(2013.01)
출원번호/일자 1020110019585 (2011.03.04)
출원인 동아대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1288622-0000 (2013.07.10)
공개번호/일자 10-2012-0100591 (2012.09.12) 문서열기
공고번호/일자 (20130719) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.03.04)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동아대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 사하구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류기성 대한민국 부산광역시 사하구
2 이응관 대한민국 부산광역시 사상구
3 황정원 대한민국 부산광역시 사하구
4 박종승 대한민국 부산광역시 금정구
5 송정근 대한민국 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박종한 대한민국 서울특별시 구로구 디지털로**길 * (구로동, 에이스하이엔드타워*차) ***호(한림특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동아대학교 산학협력단 부산광역시 사하구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0159276-39
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.05 수리 (Accepted) 4-1-2011-5242234-34
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.05.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.06.21 수리 (Accepted) 9-1-2012-0048080-16
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0515471-79
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2012-0835879-63
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.10.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0835904-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.20 수리 (Accepted) 4-1-2013-0003462-84
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2013.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0140897-54
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0253910-31
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.03.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0253911-87
12 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0279693-15
13 등록결정서
Decision to grant
2013.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0441376-16
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.08.23 수리 (Accepted) 4-1-2013-5115545-52
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2014-5046693-38
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2015-5015182-38
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5140465-53
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 준비하는 과정;상기 기판 위에 소스 전극과 드레인 전극 사이의 채널 영역에 액상의 결정성 유기 반도체를 도포하여 장축과 단축을 갖도록 형성하되, 상기 장축과 단축 중앙부 영역이 상기 채널 영역에서 이격되고, 상기 단축이 상기 채널 영역이 형성된 방향에 나란하게 유기 반도체층을 형성하는 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 유기 반도체층 형성 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 기판을 준비하는 과정과 상기 유기 반도체층을 형성하는 과정 사이에 수행되는,상기 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 과정;상기 게이트 전극 상에 게이트 절연막을 형성하는 과정;상기 게이트 절연막 상에 채널로 구성되는 일정 간격을 두고 대면되어 배치되는 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 과정;을 더 포함하며,상기 유기 반도체층을 형성하는 과정에서,상기 소스 전극 및 드레인 전극의 적어도 일부 영역과 상기 채널 영역을 덮도록 상기 유기 반도체층을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 유기 반도체층 형성 방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 유기 반도체층을 형성하는 과정에서상기 장축의 길이가 상기 채널의 길이 이상으로 상기 유기 반도체층을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 유기 반도체층 형성 방법
4 4
제3항에 있어서,상기 유기 반도체층을 형성하는 과정은액상의 결정성 유기 반도체의 드롭 모양을 타원형 또는 직선 형태로 형성하여 상기 채널의 전체 길이보다 길게 도포하는 과정;상기 도포된 유기 반도체가 자기 응집에 의하여 결정이 형성되데 상기 결정 성장이 상기 채널에 대응하는 영역에서 균일하게 형성되는 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 유기 반도체층 형성 방법
5 5
제4항에 있어서,상기 균일하게 형성되는 과정은상기 채널 영역에 대응하는 영역 상에 형성되는 상기 결정 성장이 상기 소스 전극과 드레인 전극을 잇는 방향으로 상기 유기 반도체층의 장축과 수직하게 형성되는 과정인 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 유기 반도체층 형성 방법
6 6
제4항에 있어서,상기 길게 도포하는 과정은액상의 결정성 유기 반도체는 상기 채널에서 이격된 지점에서 도포하여 상기 채널을 덮도록 상기 채널에 나란하게 도포하는 과정인 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 유기 반도체층 형성 방법
7 7
제3항에 있어서,상기 유기 반도체층을 형성하는 과정은상기 유기 반도체층의 장축이 상기 채널과 일치되지 않는 비매치되는 영역을 가지도록 상기 유기 반도체층의 장축 중심부가 상기 소스 전극과 드레인 전극 중 어느 한 전극의 영역 상에 치우쳐 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 유기 반도체층 형성 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 유기 반도체층을 형성하는 과정에서,잉크젯 방식에 의하여 액상의 결정성 유기 반도체를 도포하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 유기 반도체층 형성 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 유기 반도체층을 형성하는 과정은유기물, 무기물, 산화물 중 어느 하나 또는 조합에 의하여 생성된 유기 반도체 재료를 도포하여 형성하는 과정인 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 유기 반도체층 형성 방법
10 10
제9항에 있어서,상기 유기물은 TIPS pentacene인 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 유기 반도체층 형성 방법
11 11
제1항에 있어서,상기 유기 반도체층을 형성하면서 액상의 결정성 유기 반도체 드롭 도포 시 상기 기판에 열을 가하는 과정;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 유기 반도체층 형성 방법
12 12
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의해 형성된 유기 반도체층을 포함하는 유기 박막 트랜지스터
13 13
제12항에 따른 유기 박막 트랜지스터를 포함하는 표시소자
14 14
제13항에 따른 표시 소자를 포함하는 표시용 전자기기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.