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유기 박막 트랜지스터 제조 방법, 이에 의해 제조된 박막 트랜지스터, 이를 포함하는 표시 소자 및 표시 소자로 형성된 표시용 전자기기

  • 기술번호 : KST2015197961
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기 박막 트랜지스터 제조에 관한 것으로, 이러한 본 발명은 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 과정, 상기 게이트 전극 상에 게이트 절연막을 형성하는 과정, 상기 게이트 절연막 상에 채널로 구성되는 일정 간격을 두고 대면되어 배치되는 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 과정, 상기 소스 전극 및 드레인 전극의 표면 특성을 비대칭적으로 형성하는 표면 특성 처리 과정, 상기 비대칭 표면 특성을 가지는 소스 전극 및 드레인 전극 상에 유기 반도체층을 형성하는 과정을 포함하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법의 구성을 개시한다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01) G02F 1/136 (2006.01) H01L 51/00 (2006.01)
CPC H01L 51/105(2013.01) H01L 51/105(2013.01) H01L 51/105(2013.01)
출원번호/일자 1020110020005 (2011.03.07)
출원인 동아대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0101900 (2012.09.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.03.07)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동아대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 사하구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류기성 대한민국 부산광역시 사하구
2 박종승 대한민국 부산광역시 금정구
3 송정근 대한민국 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박종한 대한민국 서울특별시 구로구 디지털로**길 * (구로동, 에이스하이엔드타워*차) ***호(한림특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0163020-19
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.05 수리 (Accepted) 4-1-2011-5242234-34
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.05.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.06.21 수리 (Accepted) 9-1-2012-0048082-07
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0510446-76
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.10.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0866370-52
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0866361-41
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.20 수리 (Accepted) 4-1-2013-0003462-84
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0140918-25
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.08.23 수리 (Accepted) 4-1-2013-5115545-52
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2014-5046693-38
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2015-5015182-38
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5140465-53
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 게이트 전극을 형성하는 과정;상기 게이트 전극 상에 게이트 절연막을 형성하는 과정;상기 게이트 절연막 상에 채널로 구성되는 일정 간격을 두고 대면되어 배치되는 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 과정;상기 소스 전극 및 드레인 전극의 표면 특성을 비대칭적으로 형성하는 표면 특성 처리 과정;상기 비대칭 표면 특성을 가지는 소스 전극 및 드레인 전극 상에 유기 반도체층을 형성하는 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 표면 특성 처리 과정은상기 소스 전극 및 드레인 전극 중 적어도 하나의 표면에 표면 특성을 다르게 구성하는 특성층을 형성하는 과정인 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 특성층을 형성하는 과정은상기 드레인 전극의 표면 상태를 유지하고 상기 소스 전극 상에 제1 특성층을 형성하는 과정;상기 소스 전극의 표면 상태를 유지하고 상기 드레인 전극 상에 제2 특성층을 형성하는 과정;상기 소스 전극 상에 제1 특성층을 형성하고 상기 드레인 전극 상에 제2 특성층을 형성하는 과정; 중 어느 하나의 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
4 4
제3항에 있어서,상기 제1 특성층 및 상기 제2 특성층은서로 다른 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
5 5
제3항 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 특성층 및 상기 제2 특성층은상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극과 다른 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
6 6
제3항에 있어서,상기 제1 특성층 및 상기 제2 특성층은잉크젯 방법에 의하여 도포된 후 건조되어 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
7 7
제2항에 있어서,상기 특성층을 형성하는 과정은제1 두께의 특성층을 소스 전극 또는 드레인 전극에 형성하는 과정;상기 제1 두께의 특성층과 동일한 재질을 가지되 두께가 다른 제2 두께의 특성층을 상기 드레인 전극 또는 소스 전극에 형성하는 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 과정은상기 소스 전극 및 드레인 전극의 두께가 상기 특성층들 형성 이후에도 동일한 높이를 가지도록 비대칭적으로 형성하는 과정인 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 유기 반도체층을 형성하는 과정은잉크젯 방식에 의하여 유기 반도체층 재료를 도포하되 유기물, 무기물, 산화물 중 어느 하나 또는 조합에 의하여 생성된 유기 반도체 재료를 도포하여 형성하는 과정인 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
10 10
제9항에 있어서,상기 유기물은 상기 소스 전극 및 드레인 전극 상에 도포된 이후 자기 응집에 따라 일정 방향으로 결정이 성장하는 물질인 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
11 11
제9항에 있어서,상기 유기 반도체층을 형성하면서 상기 유기 반도체 드롭 도포 시 기판에 열을 가하는 과정;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
12 12
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의해 형성된 유기 반도체층을 포함하는 유기 박막 트랜지스터
13 13
상기 제12항에 따른 유기 박막 트랜지스터를 포함하는 표시소자
14 14
상기 제13항에 따른 표시 소자를 포함하는 표시용 전자기기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.