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소오스 공급용 가스관과, 리액턴트 공급용 가스관, 퍼지 가스 공급용 가스관 및 리액터를 구비한 형광체 분말의 산화물 코팅을 위한 증착 장치에 있어서, 상기 리액터는 형광체 분말의 수율을 증가시키기 위한 메쉬(mesh)를 더 포함하며, 상기 소오스 공급용 가스관의 라인과 리액턴트 가스 공급용 가스관 라인은 상기 메쉬 전단 부에 연결하고, 상기 퍼지 가스 공급용 가스관의 라인은 상기 소오스 공급용 가스관 라인과 리액턴트 가스 공급용 가스관 라인에 연결하는 것을 특징으로 하는 형광체 분말의 산화물 코팅을 위한 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 리액터는 형광체 분말의 미끄럼을 방지하기 위해 내부에 일정한 간격으로 형성된 다수개의 날을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 형광체 분말의 산화물 코팅을 위한 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 메쉬는 상기 형광체 분말의 입자 크기에 따라 홀의 크기를 가변할 수 있고, 반응성이 적은 금속 및 세라믹의 재질을 사용하는 것을 특징으로 하는 형광체 분말의 산화물 코팅을 위한 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 리액터는 상기 형광체 분말에 유동을 주기 위하여 소정 알피엠(rpm)으로 회전하는 것을 특징으로 하는 형광체 분말의 산화물 코팅을 위한 증착 장치
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제4항에 있어서, 상기 소정 알피엠(rpm)은 5 rpm 내지 20 rpm인 것을 특징으로 하는 형광체 분말의 산화물 코팅을 위한 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 리액터는 상기 형광체 분말의 투입량이 소정량 이상 투입이 가능한 부피를 가지는 것을 특징으로 하는 형광체 분말의 산화물 코팅을 위한 증착 장치
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제6항에 있어서, 상기 소정량은 적어도 0
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제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 리액터는 정회전과 역회전이 가능한 모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 형광체 분말의 산화물 코팅을 위한 증착 장치
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제8항에 있어서, 상기 모터는 상기 형광체 분말의 양과 상기 리액터의 크기에 의해 회전수를 결정하는 것을 특징으로 하는 형광체분말의 산화물 코팅을 위한 증착 장치
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형광체 파우더의 산화물 코팅을 위한 증착 방법에 있어서, 형광체 분말을 리액터로 공급하는 단계; 소오스 공급용 가스관을 통해 산화물 코팅을 위한 일정양의 소오스 가스를 상기 리액터로 공급하는 단계; 상기 소오스 가스 공급 시 상기 리액터 내부의 형광체 분말에 유동을 주기 위하여 소정 알피엠(rpm)으로 모터를 정회전 및 역회전시키는 단계; 상기 소오스 가스의 공급을 중단하고 퍼지 가스를 상기 리액터로 공급하여 퍼지하는 단계; 상기 공급하던 퍼지 가스의 공급을 중단하고, 리액턴트 가스를 상기 리액터로 공급하는 단계; 및 상기 리액턴트 가스의 공급을 중단하고, 다시 퍼지 가스를 리액터로 공급하여 산화물 박막을 형성하도록 하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 형광체 파우더의 산화물 코팅을 위한 증착 방법
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제10항에 있어서, 상기 소정 알피엠(rpm)은 5 rpm 내지 20 rpm인 것을 특징으로 하는 형광체 분말의 산화물 코팅을 위한 증착 방법
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