1 |
1
(a) 촉매 소스를 공급하는 촉매 소스 공급부;(b) 반응 소스를 공급하는 반응 소스 공급부;(c) 촉매 소스와 반응 소스의 열분해 및 열분해 된 기상의 소스들 간의 상호작용에 의한 산화아연 나노구조체의 합성 공간을 제공하는 반응로; 및 (d) 반응에 참여하지 않은 기상의 소스를 배출하는 가스 배출부를 포함하는 산화아연 나노구조체의 대량 합성장치
|
2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 반응로는 석영 또는 쿼츠로 이루어진 튜브로서 하나 이상의 저항 발열체를 포함하는 것을 특징으로 하는 산화아연 나노구조체의 대량 합성장치
|
3 |
3
제 2 항에 있어서,상기 저항 발열체는 50℃ ~ 1600℃ 온도 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 산화아연 나노구조체의 대량 합성장치
|
4 |
4
제 1 항에 있어서, 반응 소스 및 촉매 소스의 공급 및 운반을 위한 비활성 운반가스 공급부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 산화아연 나노구조체의 대량 합성장치
|
5 |
5
제 4 항에 있어서, 상기 비활성 운반가스 공급부에 의하여 공급되는 운반 가스의 흐름이 10 ~ 5000 sccm 인 것을 특징으로 하는 산화아연 나노구조체의 대량 합성장치
|
6 |
6
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 촉매 소스 공급부 및 반응 소스 공급부는 반응로의 외부에 설치되며, 기화기를 추가로 포함함으로써, 촉매 소스 및 반응 소스가 기화기로부터 비활성 운반가스에 의해 반응로 내부로 공급되는 것을 특징으로 하는 산화아연 나노구조체의 대량 합성장치
|
7 |
7
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,촉매 소스 공급부 및 반응 소스 공급부는 반응로의 내부에 설치되며, 촉매 소스 및 반응 소스가 비활성 운반 가스에 의해서 나노 구조체의 합성이 이루어질 자리로 운반되는 것을 특징으로 하는 산화아연 나노구조체의 대량 합성장치
|
8 |
8
제 4 항에 있어서,상기 가스 배출부는 비활성 운반가스도 함께 배출하는 것을 특징으로 하는 산화아연 나노구조체의 대량 합성장치
|
9 |
9
제 1 항에 있어서,상기 반응로는 수직 반응로 또는 수평 반응로인 것을 특징으로 하는 산화아연 나노구조체의 대량 합성장치
|
10 |
10
제 8 항에 있어서,상기 반응로는 수직 반응로이고, 합성된 산화아연 나노구조체를 수집하기 위한 수집기를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 산화아연 나노구조체의 대량 합성장치
|
11 |
11
제 1 항에 있어서,상기 반응로는 반응 소스 공급부 또는 촉매 소스 공급부로부터 공급되는 소스를 분사할 수 있는 분사기를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 산화아연 나노구조체의 대량 합성장치
|
12 |
12
(ⅰ) Fe(CO)5, Mo(CO)6, Co2(CO)8, (C5H5)2Fe, Ni(CO)5, 징크 아세테이트 분말로 이루어지는 군으로부터 선택된 유기금속화합물 촉매 소스, 금속나노입자 촉매 소스 또는 징크 아세테이트 분말 촉매 소스를 고온의 반응로에 주입하여 열분해시킴으로써 반응 소스의 핵 생성 자리를 제공하는 단계;(ⅱ) 산화아연 분말(ZnO powder), 아연 분말(Zn powder), 아연 펠렛(Zn pellet), 아연 금속(Zn metal), 징크 니트레이트 분말(Zn nitrate powder), DEZn(디에틸징크), DMZn(디메틸징크) 및 징크 니트레이트 용액(Zn nitrate solution) 으로 이루어진 군으로부터 선택된 기상 또는 액상의 반응 소스를 반응로로 주입하여 고온의 반응로 내에서 열분해시키는 단계;(ⅲ) 열분해된 기상의 반응 소스가 기상의 촉매 소스에 의해 제공된 핵 생성 자리에서 핵을 생성함으로써 나노구조체의 합성을 개시하는 단계; 및(ⅳ) 산화아연 나노구조체의 합성이 완성되는 단계를 포함하는 산화아연 나노구조체의 대량 합성방법
|