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솔라셀 제조용 진공챔버 모니터링 장치

  • 기술번호 : KST2015198397
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 금속 재료로 제작된 솔라셀 제조용 진공챔버에 미세한 균열과 같은 손상이 발생한 것을 용이하게 판단할 수 있는 솔라셀 제조용 진공챔버 모니터링 장치가 개시된다. 상기 솔라셀 제조용 진공챔버 모니터링 장치는, 상부가 개방된 내부 공간을 형성하는 챔버 본체부 및 상기 챔버 본체부의 상부에 배치되어 상기 내부 공간을 밀폐하는 리드부를 포함하는 진공챔버; 상기 리드부의 상부에 부착되며, 상기 진공챔버의 내부 공간이 진공 상태가 될 때 상기 리드부의 변형량을 검출하는 적어도 하나의 스트레인 게이지; 및 상기 스트레인 게이지에서 검출된 상기 리드부의 변형량에 따라 상기 챔버 본체부의 상태를 판단하는 판단부를 포함한다.
Int. CL H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020110049968 (2011.05.26)
출원인 금오공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1223348-0000 (2013.01.10)
공개번호/일자 10-2012-0131648 (2012.12.05) 문서열기
공고번호/일자 (20130116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.26)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 금오공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최성대 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 금오공과대학교 산학협력단 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2011-0394510-20
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0395917-58
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0730412-82
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0730405-62
5 등록결정서
Decision to grant
2013.01.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0018326-22
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2013-5177397-22
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2014-5047711-41
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2015-5157879-38
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5079599-14
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상부가 개방된 내부 공간을 형성하는 챔버 본체부 및 상기 챔버 본체부의 상부에 배치되어 상기 내부 공간을 밀폐하며, 상기 챔버 본체부의 재질보다 변형이 용이한 재질로 이루어지는 리드부를 포함하는 진공챔버;상기 리드부의 상부에 부착되며, 상기 진공챔버의 내부 공간이 진공 상태가 될 때 상기 리드부의 변형량을 검출하는 적어도 하나의 스트레인 게이지; 및상기 스트레인 게이지에서 검출된 상기 리드부의 변형량에 따라 상기 챔버 본체부의 상태를 판단하는 판단부를 포함하는 솔라셀 제조용 진공챔버 모니터링 장치
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삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 리드부는 수지재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 솔라셀 제조용 진공챔버 모니터링 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 판단부는, 상기 스트레인 게이지에서 검출된 상기 리드부의 변형량이 사전 설정된 기준치보다 작은 경우 상기 챔버 본체가 손상된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 솔라셀 제조용 진공챔버 모니터링 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 리드부는 오링(O-ring) 결합에 의해 상기 챔버 본체의 상부에 결합되는 것을 특징으로 하는 솔라셀 제조용 진공챔버 모니터링 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.