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인라인 스퍼터 장치의 캐리어

  • 기술번호 : KST2015198526
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 인라인 스퍼터 장치의 캐리어가 개시된다. 본 발명은 복수개의 챔버를 통과하면서 스퍼터링 시 최적의 위치에 글래스가 위치되도록 캐리어를 개선한 인라인 스퍼터 장치의 캐리어에 관한 것이다. 본 발명에 의한 인라인 스퍼터 장치의 캐리어는 전후면에 히터가 설치되어 글래스를 이송하는 캐리어에 열을 전달하는 히팅 챔버와, 상기 히팅 챔버를 통과한 상기 캐리어에 1차로 스퍼터링이 이루어지도록 내측 전후면에 히터가 설치되고 외측 전방에 캐소드가 구비된 제1스퍼터링 챔버와, 상기 제1스퍼터링 챔버를 통과한 상기 캐리어에 2차로 스포터링이 이루어지도록 내측 전후면에 히터가 설치되고 외측 정방에 캐소드가 구비된 제2스퍼터링 챔버를 포함하는 인라인 스퍼터 장치에 있어서, 상기 캐리어는 외곽의 프레임을 이루는 외곽틀과, 상기 캐리어의 글래스가 상기 챔버들의 후방에 근접하도록 외곽틀 후면에 수평으로 배열되어 글래스를 지지하게 되는 복수개의 캐리어 바를 포함한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/568(2013.01) C23C 14/568(2013.01) C23C 14/568(2013.01)
출원번호/일자 1020140019791 (2014.02.20)
출원인 금오공과대학교 산학협력단, (주)리지스
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0098471 (2015.08.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.02.20)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 금오공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 구미시
2 (주)리지스 대한민국 경북 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최성대 대한민국 경북 구미시
2 임남수 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0168495-46
2 보정요구서
Request for Amendment
2014.03.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0037055-25
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-0255261-99
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2014-5047711-41
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.12.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0008808-24
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.07.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0469590-94
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-0892628-05
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.09.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0892654-82
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2015-5157879-38
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0018186-30
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2016.02.11 수리 (Accepted) 7-1-2016-0006952-10
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5079599-14
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전후면에 히터가 설치되어 글래스를 이송하는 캐리어에 열을 전달하는 히팅 챔버;상기 히팅 챔버를 통과한 상기 캐리어에 1차로 스퍼터링이 이루어지도록 내측 전후면에 히터가 설치되고 외측 전방에 캐소드가 구비된 제1스퍼터링 챔버; 및 상기 제1스퍼터링 챔버를 통과한 상기 캐리어에 2차로 스포터링이 이루어지도록 내측 전후면에 히터가 설치되고 외측 정방에 캐소드가 구비된 제2스퍼터링 챔버;를 포함하는 인라인 스퍼터 장치에 있어서,상기 캐리어는 외곽의 프레임을 이루는 외곽틀; 및상기 캐리어의 글래스가 상기 챔버들의 후방에 근접하도록 외곽틀 후면에 수평으로 배열되어 글래스를 지지하게 되는 복수개의 캐리어 바;를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 스퍼터 장치의 캐리어
2 2
제1항에 있어서, 상기 캐리어는 수직면에 대하여 7-11도 기울어진 것을 특징으로 하는 인라인 스퍼터 장치의 캐리어
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제1항에 있어서,상기 제2스퍼터링 챔버의 전방 히터의 온도는 430-450℃이고, 후방 히터의 온도는 410-430℃인 것을 특징으로 하는 인라인 스퍼터 장치의 캐리어
4 4
제1항에 있어서,상기 제1스퍼터링 챔버의 전방 히터의 온도는 380-400℃이고, 후방 히터의 온도는 400-420℃인 것을 특징으로 하는 인라인 스퍼터 장치의 캐리어
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.