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웨이퍼 카세트 고정장치

  • 기술번호 : KST2015198685
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 웨이퍼 카세트 고정장치는, 카세트 스테이지에 웨이퍼 카세트를 고정하는 웨이퍼 카세트 고정장치에 있어서, 상기 웨이퍼 카세트가 안착되도록 상기 카세트 스테이지에 구비된 가이드; 상기 가이드의 일측에 구비된 스토퍼; 상기 스토퍼 방향으로 왕복운동하는 카세트 클램프 바; 및 상기 카세트 클램프 바를 구동시키는 클램프 실린더;를 포함하는 것을 특징으로 한다.이에 따라, 카세트 스토퍼와 클램프 실린더의 구동에 따라 왕복 이동하는 클램프 바(에 의해 카세트 스테이지에 웨이퍼 카세트를 정 위치에 견고하게 고정하여 웨이퍼의 안정적인 이송을 확보하여 웨이퍼 공정간의 이송불량 및 웨이퍼의 깨짐을 방지하는 효과가 있다.
Int. CL B65G 49/07 (2006.01) H01L 21/687 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/67775(2013.01) H01L 21/67775(2013.01) H01L 21/67775(2013.01)
출원번호/일자 1020110081040 (2011.08.16)
출원인 금오공과대학교 산학협력단, (주)비테크
등록번호/일자 10-1327346-0000 (2013.11.04)
공개번호/일자 10-2013-0019092 (2013.02.26) 문서열기
공고번호/일자 (20131111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.08.16)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 금오공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 구미시
2 (주)비테크 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김광철 대한민국 경상북도 구미시
2 윤성호 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김순웅 대한민국 서울시 구로구 디지털로**길 **, ***호 (구로동,에이스테크노타워*차)(정진국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 금오공과대학교 산학협력단 경상북도 구미시
2 (주)비테크 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0628993-25
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.01.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.03.11 수리 (Accepted) 9-1-2013-0016951-19
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0202988-43
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0467104-66
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2013-0524295-38
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.06.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0524292-02
8 등록결정서
Decision to grant
2013.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0677046-77
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2013-5177397-22
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2014-5047711-41
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2015-5157879-38
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.05.30 수리 (Accepted) 4-1-2017-0028266-10
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5079599-14
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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카세트 스테이지에 웨이퍼 카세트를 고정하는 웨이퍼 카세트 고정장치에 있어서,상기 웨이퍼 카세트가 안착되도록 상기 카세트 스테이지에 구비된 가이드;상기 가이드의 일측에 구비된 스토퍼;상기 스토퍼 방향으로 왕복운동하는 카세트 클램프 바; 및상기 카세트 클램프 바를 구동시키는 클램프 실린더;를 포함하되,상기 카세트 스테이지에는 상기 클램프 실린더의 왕복 구동을 제어하는 솔레노이드 밸브가 구비되고,상기 카세트 스테이지에는 카세트 감지센서가 구비되며,상기 카세트 감지센서가 웨이퍼 카세트를 감지하면 상기 솔레노이드 밸브는 클램프 실린더를 구동하여 카세트 클램프 바는 상기 스토퍼 방향으로 이동하고,상기 스토퍼는 웨이퍼 카세트의 정면을 고정하는 제1스토퍼와 웨이퍼 카세트의 측면을 고정하는 제2스토퍼로 절곡 형성되며,상기 카세트 클램프 바에는 양측으로 경사면이 형성된 안착홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 고정장치
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제 1항에 있어서,상기 클램프 실린더에는 전진센서가 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 고정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 금오공과대학교 산학협력단 산학연 공동기술개발사업 LED용 WAFER 정밀 SYSTEM 장비개발