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적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 분리하기 위한 장치로서,상기 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 상방 지지하는 지지판을 구비하는 프레임;상기 지지판 상에서 전방 또는 후방으로 슬라이딩 이동 가능하며, 세워진 상태로 적층된 실리콘 웨이퍼 박판들을 전방으로 미는 푸시 플레이트;스텝모터, 상기 푸시 플레이트에 고정되는 렉 기어, 상기 렉 기어에 맞물리는 제1피니언 기어, 상기 제1피니언 기어와 제1회전축으로 일체로 회전하는 제2피니언 기어 및 상기 제2피니언 기어와 맞물리며 상기 스텝 모터의 제2회전축과 일체로 회전하는 제3피니언 기어를 포함하여, 상기 적층된 실리콘 웨이퍼 박판들이 한 개 단위로 상기 지지판의 가장자리를 벗어나도록 상기 푸시 플레이트를 상기 전방으로 주기적으로 이동시키는 구동부; 및상기 지지판의 가장자리를 벗어난 상기 실리콘 웨이퍼 박판의 상부에 워터젯을 가하여, 상기 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들로부터 상기 한 개의 실리콘 웨이퍼를 하방으로 분리시키는 워터젯 분사부를 포함하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 워터젝 분사부는,상기 프레임에 고정되는 고정 플레이트;상기 고정 플레이트에 삽입 고정되는 워터젯 노즐; 및상기 워터젯 노즐에 물을 공급하는 물 공급부를 포함하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 워터젯 노즐은 상기 지지판의 가장자리의 상부에서 수직 하방으로 상기 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판에 워터젯을 가하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치
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청구항 3에 있어서,상기 워터젯 노즐로부터 연속적으로 워터젯이 분사되는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 구동부는 상기 푸시 플레이트를 상기 한 개의 실리콘 웨이퍼 박판의 두께만큼 상기 전방으로 이동시키는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 프레임은,상기 지지판의 양측에 각각 세워진 상태로 배치되며, 상기 제1회전축의 양단부들이 회전 가능하게 결합되는 제1측판 및 제2측판을 더 포함하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 프레임은,상기 지지판의 상부에 배치되고, 상기 렉 기어가 상기 전방 또는 상기 후방으로 이동하는 것을 가이드하도록 가이드 홈이 형성되어 있는 가이드판을 더 포함하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치
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청구항 9에 있어서,상기 스텝모터는 상기 지지판 상에 고정되며,상기 가이드판에는 상기 제2피니언 기어가 삽입되는 삽입홀이 형성되는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판 분리 장치
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지지판 상에 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 적치하는 단계; 및상기 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들이 한 개 단위로 주기적으로 상기 지지판의 가장자리를 벗어나도록, 상기 지지판 상에서 슬라이딩 이동 가능하여 상기 적층된 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들을 가장자리로 미는 푸시 플레이트를 상기 실리콘 웨이퍼 박판의 두께만큼 상기 지지판의 가장자리로 전진시키고, 상기 지지판의 가장자리 상부로부터 워터젯을 분사하여, 상기 워터젯에 의하여 상기 실리콘 웨이퍼 박판을 한 개 단위로 하부로 분리시키는 단계를 포함하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들의 분리 방법
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청구항 11에 있어서,상기 지지판의 가장자리의 상부에서 수직 하방으로 상기 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판에 상기 워터젯을 가하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들의 분리 방법
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청구항 11에 있어서,상기 분리시키는 단계 동안, 상기 워터젯이 연속적으로 분사되는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 박판들의 분리 방법
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