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전체적으로 기체를 통과시키는 두 개의 관이 만나는 형상으로 형성되며 상기 2개의 관 중 하나로 타 부재로부터 공급된 플라즈마 형성기체를 통과시키는 플라즈마 기체 분사 유로(12);상기 플라즈마 기체 분사 유로(12)에 상기 플라즈마 형성기체를 공급하며 상기 플라즈마 기체 분사 유로(12)의 중앙부근에 상기 플라즈마 기체 분사 유로(12)의 단면적보다 작은 단면적으로 형성되는 플라즈마 기체 공급관(22);상기 플라즈마 기체 공급관(22)의 외주의 일부를 둘러싸고 있으며 상기 플라즈마 기체 분사 유로(12)와 접촉하고 상기 플라즈마 기체 공급관(22)을 상기 플라즈마 기체 분사 유로(12) 외주의 노즐형 양극(2)으로 부터 절연시켜주는 절연체(6);상기 플라즈마 기체 분사 유로(12)가 다른 하나의 관과 만나는 지점 부근에 그 첨두가 형성되며 상기 플라즈마 기체 공급관(22)의 중앙부근에 상기 플라즈마 기체 공급관(12)의 단면적 보다 작은 단면적으로 형성되며 직류 전원공급원인 아크전원(3)의 음극에 연결되고 막대형상으로 형성되는 봉형 음극(1);상기 봉형 음극(1)의 주위를 통과해 가는 상기 플라즈마 형성 기체가 노즐 방식으로 분사되도록 하기 위해 상기 봉형 음극(1)의 앞쪽에 형성되며 플라즈마 기체 분사 유로(12)의 단면적이 줄어들어 노즐형의 형상인 노즐부(15)가 형성되고 상기 노즐부(15)와 상기 노즐부(15) 부근의 상기 플라즈마 기체 분사 유로(12)에 직류 전원 공급원인 상기 아크전원(3)의 양극이 연결되어 형성되는 노즐형 양극(2);상기 플라즈마 형성 기체에 기능성 기체를 혼합하기 위해 형성되며 상기 플라즈마 기체 공급관(12)과 만나도록 형성되는 기능유로(5);가변저항(112)을 통해 상기 봉형음극(1)에 연결되는 회로가 형성되며 상기 봉형음극(1)을 마주보는 위치로 상기 기능유로(5)의 내벽에 설치되는 편평탐침(111);상기 회로 상에 병렬로 연결되는 전압계(114);상기 가변저항(112)에 직렬로 연결되는 전류계(113);개시장치로 사용될 수 있으며 부재의 일단은 상기 봉형음극(1)에 연결되고 부재의 다른 일단은 상기 편평탐침(111)에 개시-측정 선택기(116)을 통해 연결되는 전기적 스파크 아크 점화기(115);를 포함하여 이루어지는 직류 아크 프라즈마트론 장치
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제1항에 있어서, 상기 기능유로(5)는 금속 재질의 관으로 형성되며 상기 관의 길이방향에 수직한 단면이 사각형으로 형성되고 상기 직류 아크 프라즈마트론 장치를 세로로 자른 상태를 보여주는 상하 단면상에서 볼 때 상기 관의 높이는 상기 노즐부(15)의 지름의 1 내지 3배로 형성되는 기능유로인 것을 특징으로 하는 직류 아크 프라즈마트론 장치
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제1항에 있어서, 상기 기능유로(5)는 상기 기능성 기체를 유입하는 기능성 유로 입구부(72); 상기 기능유로(5)을 가로로 자른 상태를 보여주는 측 단면상에서 볼 때 상기 기능성 유로 입구부(72)보다 큰 단면적으로 형성되며 상기 기능성 기체를 배출하는 기능성 유로 출구부(74); 상기 기능성 유로 입구부(72)와 상기 기능성 유로 출구부(74)를 연결하도록 형성되며 단조 발산하는 확산기 형태로 형성되는 기능성 유로 단조 발산 확산부(70); 를 포함하는 기능유로인 것을 특징으로 하는 직류 아크 프라즈마트론 장치
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제3항에 있어서, 기능성 유로 단조 발산 확산부(70)는 그 단면의 폭이 넓어지기 시작하는 부위가 상기 노즐부(15)와 만나도록 형성되는 기능성 유로 단조 발산 확산부인 것을 특징으로 하는 직류 아크 프라즈마트론 장치
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제3항에 있어서, 상기 기능유로(5)는 상기 기능유로(5)을 가로로 자른 상태를 보여주는 측 단면상에서 볼 때, 상기 기능성 유로 입구부(72)의 단면의 폭은 상기 노즐부(15)의 지름의 3배 이하로 형성되고 상기 기능성 유로 출구부(74)의 단면의 폭은 상기 노즐부(15)의 지름의 3배 이상으로 형성되는 기능유로인 것을 특징으로 하는 직류 아크 프라즈마트론 장치
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제3항에 있어서, 상기 기능유로(5)는 상기 기능유로(5)을 가로로 자른 상태를 보여주는 측 단면상에서 볼 때 , 상기 기능성 유로 단조 발산 확산부(70)의 면이 상기 기능성 유로 출구부(74)에 내접하는 원의 접선면과 일치하도록 형성되는 기능유로인 것을 특징으로 하는 직류 아크 프라즈마트론 장치
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제3항에 있어서, 상기 기능유로(5)는 상기 노즐형 양극(2)과 접속되는 확산부에서의 기체 흐름의 속도를 높이기 위하여 단조 발산하는 기능성 유로 단조 발산 확산부(70)의 부위 중 폭이 좁은 앞부분이 노즐 형태로 형성되는 기능유로인 것을 특징으로 하는 직류 아크 프라즈마트론 장치
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제1항에 있어서, 상기 기능유로(5)는 상기 직류 아크 프라즈마트론 장치를 세로로 자른 상태를 보여 주는 상하 단면상에서 볼 때, 상기 플라즈마 기체 분사유로(12)와 만나는 지점을 지나서 상기 플라즈마 기체 분사유로(12) 내부의 상기 봉형 음극(1)의 중심축으로 부터 상기 노즐부(15)의 지름의 2배가 되는 지점으로 부터 완만하게 90도 각도로 구부러지도록 형성되는 기능유로인 것을 특징으로 하는 직류 아크 프라즈마트론 장치
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