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기판(W)과 캐필러리(C)사이의 전기장에 의해 상기 캐필러리(C) 내부에 충진된 잉크(I)가 상기 기판(W)측으로 분사되는 정전기 유도 증착 장치(10)에 있어서,상기 캐필러리(C)는 중공의 원통형상을 구비하되 일측면의 일부 영역이 개방되어 잉크(I)가 투입되는 투입 포트(113)를 구비하는 아우터 캐필러리(110)와, 상기 아우터 캐필러리(110) 내부에 설치되는 것으로서 중공의 원통형상을 구비하되 상단부 일 영역이 개방되어 상기 아우터 캐필러리(110)의 끝단부에 형성되는 메니스커스(M)의 일 부분이 외부로 토출되는 토출 포트(123)를 구비하는 인너 캐필러리(120)와,상기 토출 포트(123)를 통해 상기 메니스커스(M)의 일 부분을 석션한 후 석션된 잉크(I)를 상기 투입 포트(113)측으로 이송하는 이송부(P)를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크 순환 방식의 정전기 유도 증착 장치
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기판(W)과 상기 기판(W)상에 배치되어 내부에 충진된 잉크(I)를 분사하는 캐필러리(C)와 상기 기판(W)과 캐필러리(C)에 전원을 공급하는 전원 공급부(E)를 포함하여, 상기 캐필러리(C)와 기판(I) 사이의 전기장에 의해 상기 캐필러리(C) 내부에 충진된 잉크(I)가 상기 기판(W)측으로 분사되는 정전기 유도 증착 장치(10)에 있어서,상기 캐필러리(C)는 중공의 원통형상을 구비하되 일측면의 일부 영역이 개방되어 잉크가 투입되는 투입 포트(113)를 구비하는 한편 상기 전원 공급부(E)가 통전되는 전도성 물질의 아우터 캐필러리(110)와, 상기 아우터 캐필러리(110) 내부에 설치되는 것으로서 중공의 원통형상을 구비하되 상단부 일 영역이 개방되어 상기 아우터 캐필러리(110)의 끝단부에 형성되는 메니스커스의 일 부분이 외부로 토출되는 토출 포트(123)를 구비하는 비 전도성의 인너 캐필러리(120)와,상기 토출 포트(123)를 통해 상기 메니스커스의 일 부분을 석션한 후 상기 석션된 잉크를 상기 투입 포트(113)측으로 이송하는 이송부(P)를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크 순환 방식의 정전기 유도 증착 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 인너 캐필러리(120)는 실리카를 재질로 한 것을 특징으로 하는 잉크 순환 방식의 정전기 유도 증착 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 아우터 캐필러리(110)는 메탈을 재질로 한 것을 특징으로 하는 잉크 순환 방식의 정전기 유도 증착 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 아우터 캐필러리(110)는 중공의 원통 형상인 아우터 캐필러리 본체(111)와, 상기 아우터 캐필러리 본체(111) 중 잉크 토출 방향 끝부분에 형성되는 것으로서 폭이 상기 잉크 토출 방향으로 갈수록 좁아지는 노즐(112)을 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크 순환 방식의 정전기 유도 증착 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 인너 캐필러리(120)는 중공의 원통 형상인 인너 캐필러리 본체(121)와, 상기 인너 캐필러리 본체(121) 중 잉크 토출 방향 끝부분에 형성되는 것으로서 폭이 상기 잉크 토출 방향으로 갈수록 좁아지는 노즐(122)을 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크 순환 방식의 정전기 유도 증착 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 이송부(P)를 제어하는 제어부(CON)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크 순환 방식의 정전기 유도 증착 장치
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제1항 또는 제2항에 기재된 잉크 순환 방식의 정전기 유도 증착 장치를 포함하는 잉크 젯 프린트 헤드
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제1항 또는 제2항에 기재된 잉크 순환 방식의 정전기 유도 증착 장치를 이용하여 잉크를 순환하는 방법(S100)으로서,상기 아우터 캐필러리(110)의 투입 포트(113)를 통해 잉크(I)를 투입하는 단계(S110)와,상기 아우터 캐필러리(110)에 메니스커스(M)가 형성된 후 액적(D)이 상기 기판(W)측으로 분사되는 한편 상기 메니스커스(M)의 일 부분이 상기 인너 캐필러리(120)의 토출 포트(123)를 통해 석션되는 단계(S120)와,상기 석션된 메니스커스가 상기 이송부(P)를 통해 상기 투입 포트(113)로 투입되어 잉크(I)가 순환되는 단계(S130)를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기 유도 증착 장치의 잉크 순환 방법
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