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서로 다른 파장의 레이저 광을 발생시키는 광원부;상기 광원부에서 전달되는 상기 레이저 광을 각각 편광 입사하도록 하여, 각 레이저 광의 일부를 통과하고 나머지를 반사하여 분리하는 제1편광빔스플리터;상기 제1편광빔스플리터에서 입사된 광의 간섭현상에 의해 결상시키는 결상부;상기 결상부에서 전달되는 광을 분리하여, 편광 발산하는 제2편광빔스플리터 및 상기 제2편광빔스플리터를 통과하는 간섭영상을 측정하는 측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래픽 현미경 장치
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제1항에 있어서,상기 광원부는,제1파장의 레이저 광을 발생시키는 제1광원부 및제2파장의 레이저 광을 발생시키는 제2광원부를 포함하며, 상기 제1광원부 및 제2광원부에서 발생한 레이저광을 각각 전송하는 제1광파이버 및 제2광파이버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래픽 현미경 장치
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제2항에 있어서,상기 제1편광빔스플리터는,상기 제1광파이버에서 전송되는 상기 제1파장의 레이저 광을 편광시키는 제1편광판;상기 제2광파이버에서 전송되는 상기 제2파장의 레이저 광을 편광시키는 제2편광판 및 상기 제1편광판 및 상기 제2편광판에서 입사된 광을 분리하는 제1빔스플리터를 포함하고, 상기 제1편광판과 상기 제2편광판의 편광 방향은 서로 직교하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래픽 현미경 장치
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제1항에 있어서,상기 제1편광빔스플리터 및 상기 결상부 사이에 간섭 영상 측정을 위한 상을 생성되도록 상기 제1편광빔스플리터에서 전달되는 광을 집광하는 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래픽 현미경 장치
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제2항에 있어서,상기 제2편광빔스플리터는,상기 결상부에서 입사된 광을 분리하는 제2빔스플리터 및상기 제2빔스플리터에 입사되는 상기 제1파장의 레이저 광을 편광시키는 제3편광판과 상기 제2파장의 레이저 광을 편광시키는 제4편광판을 포함하되, 상기 제3편광판과 상기 제4편광판의 편광 방향은 서로 직교하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래픽 현미경 장치
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제5항에 있어서,상기 측정부는,상기 제3편광판과 인접한 위치에 제1간섭 영상을 측정하는 제1측정부 및상기 제4편광판과 인접한 위치에서 제2간섭 영상을 측정하는 제2측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래픽 현미경 장치
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제6항에 있어서, 상기 제1측정부 및 상기 제2측정부에서 측정된 상기 제1간섭 영상 및 상기 제2간섭 영상에서 가상 파장에 대한 위상 영상을 획득하여, 3차원 영상을 생성하는 3차원영상부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 홀로그래픽 현미경 장치
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