| 요약 |
본 발명은 태양전지 등에 사용되는 실리콘 기판의 표면에 피라미드 구조를 형성하기 위한 플라즈마 식각 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 플라즈마에 의해 활성화된 식각가스를 분사시키는 가스분사구가 형성되어 있는 플라즈마 발생장치와, 플라즈마 발생장치에 고압의 식각가스를 공급해주는 가스 공급장치를 구비하여, 1 Torr 이상의 압력 환경 하에서 고속으로 분사되는 식각가스 입자에 의해 실리콘 기판 표면에 식각 반응을 일으켜 피라미드 구조를 형성함으로써, 고진공 상태를 유지하기 위한 별도의 장치가 필요 없어 식각 장치의 구조를 단순화할 수 있고, 고밀도의 식각가스 입자에 의해 반응 효율을 향상시킬 수 있는 플라즈마 식각 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 실리콘 표면에 피라미드 구조를 형성하기 위한 플라즈마 식각 방법은, 식각반응로 내부에 실리콘 기판을 지지하는 홀더와, 일측에 가스분사구가 형성된 플라즈마 발생장치를 구비한 플라즈마 식각장치를 이용하여 실리콘 표면에 피라미드 구조를 형성하는 방법에 있어서, 상기 플라즈마 발생장치에 식각가스를 공급하여 플라즈마를 발생시키고, 상기 플라즈마에 의해 활성화된 식각가스 입자를 상기 가스분사구를 통해 홀더에 지지되어 있는 실리콘 기판으로 분사시킴으로써, 상기 분사된 식각가스 입자에 의한 식각을 통해 실리콘 기판 표면에 피라미드 구조를 형성하되, 상기 가스분사구를 통해 분사되는 식각가스 입자의 분사 속도는, 상기 플라즈마 발생장치로 공급되는 식각가스의 압력에 대한 제어를 통하여 조절되는 점을 특징으로 한다.실리콘, 피라미드 구조, 건식식각, 플라즈마, 태양전지
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