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연속 Ｘ-선을 이용한 다 차수 반사율 동시 측정방법 및측정 장치

기술번호 : KST2015199161
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 결정(crystal)에서의 X-선의 다차수 반사율(reflectivity) 동시 측정방법 및 그 측정 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 연속 X-선을 결정에 입사하여, 브래그의 법칙에 따라 결정에서 반사가 일어날 수 있는 다양한 반사 차수에서의 반사강도를 측정함으로써 다 차수 반사율을 동시에 측정하는 방법 및 그 측정 장치에 대한 것이다. X-선, 다 차수 반사율, 결정, 연속 X-선, X-선 튜브, 반사율
Int. CL	G01N 23/207 (2018.01.01) G01N 23/06 (2018.01.01) G01N 23/225 (2018.01.01)
CPC	G01N 23/207(2013.01) G01N 23/207(2013.01) G01N 23/207(2013.01)
출원번호/일자	1020040105268 (2004.12.14)
출원인	한국기초과학지원연구원
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2006-0066799 (2006.06.19) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	거절
심사진행상태	수리
심판사항	심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2004.12.14)
심사청구항수	11

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국기초과학지원연구원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	이상곤	대한민국	대전광역시 유성구
2	박준교	대한민국	대전광역시 유성구
3	비트멘프레드	독일	미국 뉴저지주 프린스

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	함현경	대한민국	서울시 송파구 법원로 *** 대명타워 *층(한얼국제특허사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2004.12.14	수리 (Accepted)	1-1-2004-0587693-06
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2006.04.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2006.05.15	수리 (Accepted)	9-1-2006-0030911-80
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2006.05.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0314171-76
5	대리인변경신고서 Agent change Notification	2006.07.28	수리 (Accepted)	1-1-2006-0545953-78
6	지정기간연장신청서 Request for Extension of Designated Period	2006.07.28	수리 (Accepted)	1-1-2006-0545979-54
7	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2006.08.04	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2006-0561249-18
8	의견서 Written Opinion	2006.08.04	수리 (Accepted)	1-1-2006-0561239-62
9	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2007.01.24	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0041371-10
10	명세서 등 보정서(심사전치) Amendment to Description, etc(Reexamination)	2007.03.22	보정각하 (Rejection of amendment)	7-1-2007-0011492-26
11	보정각하결정서 Decision of Rejection for Amendment	2007.04.13	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0200286-67
12	심사전치출원의 심사결과통지서 Notice of Result of Reexamination	2007.04.13	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0200287-13
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.10.21	수리 (Accepted)	4-1-2011-5212108-42
14	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2012.08.31	수리 (Accepted)	4-1-2012-5184331-50
15	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2012.08.31	수리 (Accepted)	4-1-2012-5184293-13
16	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.04.15	수리 (Accepted)	4-1-2013-5058386-17
17	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.04.15	수리 (Accepted)	4-1-2013-5058545-81
18	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.06.22	수리 (Accepted)	4-1-2020-5135881-88

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 X-선을 이용하여 반사율을 측정하는 데 있어서, 연속 X-선을 시료에 조사하고 시료에서 반사되는 다차수 X-선의 강도를 측정함으로써 다차수 반사율을 동시에 측정하는 것을 특징으로 하는 반사율 측정방법
2	2 제 1항에 있어서, 상기 연속 X-선은 금속 타켓으로서, Cr, Fe, Co, Cu, Mo, Ag, V, Mn, Fe, Ni, Zr 또는 Rh을 사용하여 발생되는 X-선임을 특징으로 하는 측정방법
3	3 제 1항에 있어서, X-선 발생기에 발생하는 상기 연속 X-선을 결정에 직접 입사하는 것을 특징으로 하는 측정방법
4	4 제 1항에 있어서, 상기 시료에서 반사되는 X-선의 강도를 측정하는 방법은, 파장 분해방법 또는 에너지 분해방법인 것을 특징으로 하는 측정방법
5	5 제 4항에 있어서 상기 에너지 분해방법은 에너지 분해능이 있는 Si-Li 검출기 또는 Si-Pin 다이오드 검출기를 사용하는 것을 특징으로 하는 측정방법
6	6 X-선을 이용하여 반사율을 측정하는 데 있어서, 연속 X-선을 이용하여 다차수 반사율을 동시에 측정하는 방법
7	7 X-선 발생기, 시료 고정 장치 및 검출기를 포함하며, 상기 X-선 발생기, 시료 고정 장치 및 검출기는 기하학적으로 론란원 상에 위치하고, 상기 X-선 발생기는 연속 X-선을 발생시키며, 상기 검출기는 에너지 또는 파장 분해능이 있는 검출기인 것을 특징으로 하는 다차수 X-선 반사 측정장치
8	8 제 7항에 있어서, 상기 X-선 발생기는 금속 타켓으로서, Cr, Fe, Co, Cu, Mo, Ag, V, Mn, Fe, Ni, Zr 또는 Rh을 사용하는 것을 특징으로 하는 측정장치
9	9 제 7항에 있어서 상기 X-선 발생기는 가스관 또는 필라멘트관인 것을 특징으로 하는 측정장치
10	10 제 7항에 있어서, 상기 검출기는 에너지 분해능이 있는 검출기로서 Si-Li 검출기 또는 Si-Pin 다이오드 검출기인 것을 특징으로 하는 측정장치
11	11 제 7항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 의한 다차수 X-선 반사 측정장치에 반사율 계산기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다차수 X-선 반사율 측정장치
12	11 제 7항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 의한 다차수 X-선 반사 측정장치에 반사율 계산기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다차수 X-선 반사율 측정장치

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US07209542	US	미국	FAMILY
2	US20060126786	US	미국	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US2006126786	US	미국	DOCDBFAMILY
2	US7209542	US	미국	DOCDBFAMILY

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2004.12.14	수리 (Accepted)	1-1-2004-0587693-06
2	선행기술조사의뢰서	2006.04.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2006.05.15	수리 (Accepted)	9-1-2006-0030911-80
4	의견제출통지서	2006.05.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0314171-76
5	대리인변경신고서	2006.07.28	수리 (Accepted)	1-1-2006-0545953-78
6	지정기간연장신청서	2006.07.28	수리 (Accepted)	1-1-2006-0545979-54
7	명세서등보정서	2006.08.04	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2006-0561249-18
8	의견서	2006.08.04	수리 (Accepted)	1-1-2006-0561239-62
9	거절결정서	2007.01.24	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0041371-10
10	명세서 등 보정서(심사전치)	2007.03.22	보정각하 (Rejection of amendment)	7-1-2007-0011492-26
11	보정각하결정서	2007.04.13	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0200286-67
12	심사전치출원의 심사결과통지서	2007.04.13	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0200287-13
13	출원인정보변경(경정)신고서	2011.10.21	수리 (Accepted)	4-1-2011-5212108-42
14	출원인정보변경(경정)신고서	2012.08.31	수리 (Accepted)	4-1-2012-5184331-50
15	출원인정보변경(경정)신고서	2012.08.31	수리 (Accepted)	4-1-2012-5184293-13
16	출원인정보변경(경정)신고서	2013.04.15	수리 (Accepted)	4-1-2013-5058386-17
17	출원인정보변경(경정)신고서	2013.04.15	수리 (Accepted)	4-1-2013-5058545-81
18	출원인정보변경(경정)신고서	2020.06.22	수리 (Accepted)	4-1-2020-5135881-88

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번호	심판번호(숫자)	심판번호(문자)	사건의표시	청구일	심결일자
1	2007101001987	2007원1987	2004년 특허출원 제0105268호 거절결정불복심판	2007.02.21	2008.04.16

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