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핵융합로에 사용되는 관내연선도체의 열처리를 통한 초전도화 과정에서 진공도를 조절하여 관내연선도체의 크랙발생을 방지하는 진공열처리장치에 있어서,초전도 자석의 코일을 수용하는 진공챔버와, 상기 진공챔버의 상하부에 개폐되는 상하부커버를 포함하여 구성된 열처리챔버;상기 열처리챔버 내부를 진공으로 만드는 진공펌프부; 상기 열처리챔버 내부에 설치되어 온도를 각각 독립적으로 제어하도록 하나 이상의 열선셋트가 포함된 온도제어부;진공챔버 내에 설치되는 초전도자석 코일내부에 초순수(99
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제 1항에 있어서, 상기 운전 제어 및 모니터링부는 수집된 신호가 PLC에 통합되어 운전되고, 이러한 운전 정보는 통신을 통하여 PC에서 수집 후 인터넷으로 운전자에게 제공되는 것을 특징으로 하는 진공열처리장치
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열처리장치의 진공챔버 내에 자석을 배치하고, 자석의 주위에 열전대를 설치하며 가스퍼지부의 배관과 자석의 헬륨피드쓰루를 연결하는 초전도자석설치단계;열처리챔버 내부의 진공이 일정수준의 진공도에 도달하게 되면 메인 밸브를 열어서 진공배기 하는 진공배기단계;열처리챔버 내부의 진공도가 5×10-5 torr 이하로 유지되면, 열처리를 시작하되 온도 상승속도는 6℃/hr이며, 460℃에서 1차가열하고, 570℃에서 2차가열하고, 660℃에서 3차가열하는 열선가동단계; 및가열상황을 모니터링하는 진행상황모니터링단계를 포함하는 진공열처리방법
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제 3항에 있어서, 상기 1차 가열은 100 시간, 2차 가열은 200시간, 3차 가열은 240 시간 동안 가열하는 것을 특징으로 하는 진공열처리방법
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제 3항에 있어서, 상기 초전도자석설치단계에서 열처리챔버 내에 설치되는 초전도자석 코일의 누설을 시험하고, 진공배기단계에서 열처리챔버의 누설을 시험하는 것을 특징으로 하는 진공열처리방법
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제 3항에 있어서, 상기 진공배기단계에서 크라이오펌프의 가동 전에 크라이오펌프에 완전 재생 과정을 거쳐 가동을 준비하는 것을 특징으로 하는 진공열처리방법
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