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고체 금속 분말 이송용 가스의 공급을 위한 가스 주입 포트(11), 회전 모터(1)에 전력을 공급하기 위한 전원연결용 진공포트(10) 및 진공을 위한 진공 배기포트(9)로 이루어진 커버(14);상단은 상기 커버(14)와 연결되고, 하단은 꼬깔형 분말 이송로(7)와 연결되고, 상단 외주 일측에 진공 바이패스라인(8)이 구비되어 진공 상태의 진공 공간이 형성되는 아우터 하우징(12); 및상기 아우터 하우징(12) 내부 중앙으로부터 이격되어 수직 상방향으로 구비되는 고체 금속 분말 용기(15)와, 전기적 절연을 위해 상기 고체 금속 분말 용기(15) 상단에 구비되는 절연부(4)와, 상기 절연부(4)의 상단 중앙에 구비되는 상기 회전 모터(1)와 연결되어 상기 회전 모터(1)의 회전에 따라 수직 하방향에 대해 원주방향으로 회전하도록 분말 이송용 스크류(2a)를 포함하도록 구비되는 분말 이송용 회전축(2), 상기 고체 금속 분말 용기(15)로부터 고체 금속 분말이 직하방으로 공급되어 저장되는 꼬깔형 분말 리시버(3) 및 하단부에 진동모터(6)가 구비되어 상기 꼬깔형 분말 리시버(3)로부터 이송되는 고체 금속 분말의 필터링을 위해 구비되는 디스크 형상의 금속 필터(5)로 구비되어 이루어지는 이너 하우징(13);으로 구비되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 ICP를 이용한 나노 분말 양산용 자유 낙하 출발 물질 공급 장치
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2
제1항에 있어서, 상기 회전 모터(1) 및 분말 이송용 회전축(2)의 회전 이동으로 인해 고체 금속 분말 용기 내부에 충진된 고체 금속 분말의 흡착을 방지할 수 있는 것을 특징으로 하는 ICP를 이용한 나노 분말 양산용 자유 낙하 출발 물질 공급장치
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제1항에 있어서, 상기 꼬깔형 분말 리시버(3)의 하단 내부에서 상기 분말 이송용 회전축(2)의 회전 이동으로 인해 고체 금속 분말의 지속적 공급이 가능한 것을 특징으로 하는 ICP를 이용한 나노 분말 양산용 자유 낙하 출발 물질 공급장치
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제1항에 있어서, 상기 꼬깔형 분말 리시버(3)의 하단 내부에서 상기 분말 이송용 회전축(2)의 회전 이동으로 인해 고체 금속 분말의 공급을 선택적으로 차단가능한 것을 특징으로 하는 ICP를 이용한 나노 분말 양산용 자유 낙하 출발 물질 공급장치
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5
제1항에 있어서, 상기 진동 모터(6)의 진동에 의해 상기 금속 필터(5)는 고체 금속 분말을 크기별로 선별하여 공급가능한 것을 특징으로 하는 ICP를 이용한 나노 분말 양산용 자유 낙하 출발 물질 공급 장치
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제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 진동 모터(6)의 진동에 의해 상기 금속 필터(5)는 상기 선별된 고체 금속 분말의 재수집이 가능한 것을 특징으로 하는 ICP를 이용한 나노 분말 양산용 자유 낙하 출발 물질 공급 장치
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7
제1항에 있어서, 상기 회전 모터(1), 이너 하우징(13) 및 아우터 하우징(12) 사이의 전기적 절연이 이루어지도록 상기 절연부(4)는 절연 물질로 도포된 플레이트를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 ICP를 이용한 나노 분말 양산용 자유 낙하 출발 물질 공급 장치
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8
제7항에 있어서, 상기 절연부(4)의 플레이트에 도포되는 절연 물질은 테플론 재질인 것을 특징으로 하는 ICP를 이용한 나노 분말 양산용 자유 낙하 출발 물질 공급 장치
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9
제1항에 있어서, 상기 고체 금속 분말 용기(15)는 내부에 충진된 고체 금속 분말을 보호가능하도록 밀폐되는 것을 특징으로 하는 ICP를 이용한 나노 분말 양산용 자유 낙하 출발 물질 공급 장치
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10
제1항에 있어서, 상기 가스 주입 포트(11)에 의해 상기 아우터 하우징(12) 상부 진공 공간 내 고체 금속 분말 이송용 가스를 보호가능한 것을 특징으로 하는 ICP를 이용한 나노 분말 양산용 자유 낙하 출발 물질 공급 장치
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제1항에 있어서, 상기 꼬깔형 분말 이송로(7)를 통해 고체 금속 분말의 이송 효율 및 나선 이동을 통한 상기 고체 금속 분말의 균일한 공급이 가능한 것을 특징으로 하는 ICP를 이용한 나노 분말 양산용 자유 낙하 출발 물질 공급 장치
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12
제1항에 있어서, 상기 금속 필터(5)는 공급되는 분말의 입도(grain size)에 따라 선택적으로 다양한 사이즈로 형성가능 한 것을 특징으로 하는 ICP를 이용한 나노 분말 양산용 자유 낙하 출발 물질 공급 장치
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