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내부가 중공인 하우징(10);상기 하우징(10)의 내부에 장착되며 신축성이 우수한 러버패드(20);상기 러버패드(20)를 눌러서 고정시키기 위하여 외주면이 숫나사부(31) 형태로 형성되고 그 중앙부는 중앙홀(33)이 형성된 압력고정구(30);상기 하우징(10) 내부에 스크류결합되며 회전정도에 따라 하우징 내부의 압력을 조절할 수 있는 슬라이더(40); 및상기 하우징(10)의 전단에 장착되는 폴리싱패드(70);를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동정압 폴리싱장치
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제 1항에 있어서,상기 하우징(10)은 그 전단으로부터 폴리싱패드 안착부(11), 압력고정구 안착부(13) 및 슬라이더 안착부(15)로 구성되는 것을 특징으로 하는 자동정압 폴리싱장치
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제 2항에 있어서,상기 폴리싱패드 안착부(11)의 내경은 상기 압력고정구 안착부(13)의 내경보다 작고, 상기 압력고정구 안착부(13)의 내경은 상기 슬라이더 안착부(15)의 내경보다 작은 것을 특징으로 하는 자동정압 폴리싱장치
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제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 폴리싱패드 안착부(11)는 내부가 중공이며 그 외주면을 따라 요부(12)가 형성되어 있으며, 패드고정링(73)을 사용하여 상기 요부(12)에서 상기 폴리싱패드(11)를 조여서 고정시키는 것을 특징으로 하는 자동정압 폴리싱장치
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제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 압력고정구(30)의 숫나사부(31)에 대응하여 상기 압력고정구 안착부(13)의 내주면은 제 1나사부(14)의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 자동정압 폴리싱장치
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제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 슬라이더 안착부(15)는 그 후단 내주면에 제 2나사부(16)를 구비하며, 상기 슬라이더 안착부(15)의 원통벽 중간부분에는 유체공급홀(19)이 형성되는 것을 특징으로 하는 자동정압 폴리싱장치
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제 1항에 있어서,상기 슬라이더(40)는 내부에 유체저장홈(47)이 형성되고, 그 후단에는 플랜지(41)가 형성되고, 상기 플랜지(41)에 인접한 슬라이더(40)의 몸체에는 숫나사부(43)가 형성되며, 상기 숫나사부(43)와 상기 슬라이더 전단 사이에는 유체의 시일을 위한 오링(O-ring)이 장착되는 것을 특징으로 하는 자동정압 폴리싱장치
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