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투과전자현미경(TEM) 홀더구동 측정 장치에 있어서, 시편이 장착되는 부분을 직접 관찰할 수 있는 주사전자현미경(100), 상기 주사전자현미경(100)의 진공챔버에 고정되는 커버(200), 상기 커버(200)에 장착되며 투과전자현미경(TEM) 홀더를 상하좌우로 이동시키는 2축스테이지(300), 상기 2축스테이지(300)에 장착되며 측정하고자 하는 투과전자현미경 홀더가 삽입되는 홀더카트리지(400), 상기 홀더카트리지(400)를 사이에 두고 상기 2축스테이지(300)에 장착되며 투과전자현미경(TEM) 홀더를 회전시키는 회전스테이지(500), 상기 회전스테이지(500)에 장착되며 투과전자현미경(TEM) 홀더를 장착하여 전후방향으로 이동시키는 전후이동부(600)를 적어도 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경(SEM)을 이용한 투과전자현미경(TEM) 홀더구동 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 커버(200)는, cover를 SEM에 부착하기 위한 볼트홀(a1); SEM 내부 진공도를 위한 O-ring 장착용 홈이 구비되며 Two-axis stage를 커버에 고정하기 위한 Two-axis stage고정부(a2); Two-axis stage 상하좌우 구동시 cover옆면 접촉하지 않도록 holder cartridge의 외형 지름보다 큰 관통부(a3); SEM 내부 진공도를 위한 O-ring 장착홈이 구비되며 커버를 SEM에 고정하기 위한 커버고정부(a4)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경(SEM)을 이용한 투과전자현미경(TEM) 홀더구동 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 2축스테이지(300)는, TEM홀더의 상하좌우 이동을 조정하며 측정하기 위한 마이크로미터(b1); stage 구동 시 이동 경로이며 직선방향으로 정확하게 구동하는 Two-axis stage 이동bar(b2); 투과전자현미경 holder를 장착할 때 사용하는 cartridge를 장착하는 부분인 Holder cartridge장착부(b3); two-axis stage를 수직상태에서 사용하고, stage의 움직임이 상하좌우 자유롭도록 하기 위한 원통형ball-bearing(b4); cartridge와 two-axis stage사이의 SEM 내부 진공도를 위한 O-ring장착홈을 구비하며 Holder cartridge를 SEM에 고정하기 위한 Holder cartridge고정부(b5); SEM외벽에 부착한 cover에 stage를 부착하기 위한 volt홀(b6)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경(SEM)을 이용한 투과전자현미경(TEM) 홀더구동 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 홀더카트리지(400)는, 내부에 홀더를 장착하는 홀더장착부(c1); volt로 고정되고, Holder cartridge와 two-axis stage를 결합하기 위하여 안쪽으로 two-axis stage 표면에 있는 o-ring이 위치하게 되는 volt홀(c2); holder를 회전하면서 관찰하기 위해 holder 자체에 설치된 pin이 삽입되는 pin삽입부(c3);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경(SEM)을 이용한 투과전자현미경(TEM) 홀더구동 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 회전스테이지(500)는, TEM홀더의 회전을 조정하며 측정하기 위한 마이크로미터(d1); 투과전자현미경 holder를 전, 후로 이동하는 전후이동부를 장착하는 전후이동부고정홈(d2); 전후이동부를 삽입하기 위한 관통구인 전후이동부삽입홀(d3); 로테이션스테이지(Rotation stage)를 two-axis stage에 고정하기 위한 스테이지고정부(d4);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경(SEM)을 이용한 투과전자현미경(TEM) 홀더구동 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 전후이동부(600)는, 정밀한 조정을 위하여 conchoid 처리된 전후구동부(e1); 로테이션스테이지(Rotation stage)에 고정하기 위한 고정홈(e2); Rotation 구동 시 holder에 있는 pin을 잡기 위한 핀고정bar(e3); TEM holder를 삽입하기 위한 TEM holder삽입홀(e4);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경(SEM)을 이용한 투과전자현미경(TEM) 홀더구동 측정 장치
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시편이 장착되는 부분을 직접 관찰할 수 있는 주사전자현미경, 상기 주사전자현미경의 진공챔버에 고정되는 커버, 상기 커버에 장착되며 투과전자현미경(TEM) 홀더를 상하좌우로 이동시키는 2축스테이지, 상기 2축스테이지에 장착되며 측정하고자 하는 투과전자현미경 홀더가 삽입되는 홀더카트리지, 상기 홀더카트리지를 사이에 두고 상기 2축스테이지에 장착되며 투과전자현미경(TEM) 홀더를 회전시키는 회전스테이지, 상기 회전스테이지에 장착되며 투과전자현미경(TEM) 홀더를 장착하여 전후방향으로 이동시키는 전후이동부를 적어도 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경(SEM)을 이용한 투과전자현미경(TEM) 홀더구동 측정 방법에 있어서,SEM에서 관찰하기 위해 vacuum 작업한 후 전자 빔을 인가하는 단계(S100);상기 전자빔을 인가한 상태에서 two-axis stage와 전후이동부를 이용하여 관찰하고자 하는 부분을 화면 정중앙으로 이동하는 단계(S200); 측정 holder에서 specimen cradle을 경사, 회전, 이동을 구동하면서 SEM으로 적합한 배율로 관찰하는 단계(S300); holder의 정확한 구동을 관찰하기 위해 장착한 two-axis stage, Rotation stage, 전후이동부를 이용하여 specimen cradle과 주변 부품의 움직임을 관찰하는 단계(S400);holder의 오차와 정밀도를 판단하는 단계(S500);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경(SEM)을 이용한 투과전자현미경(TEM) 홀더구동 측정 방법
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