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전류 피드스루에 연결되며, 열전자를 방출하는 필라멘트가 설치된 음극;
전압 피드스루에 연결되며, 방출된 상기 열전자가 충돌되어 X선을 방출하는 양극;
상기 필라멘트와 마주하는 상기 양극의 X선 방출면에 마련된 돌출변;
상기 필라멘트를 감싸도록 배치되며, 상기 열전자가 통과되는 개방부가 형성된 차폐부재; 및
상기 차폐부재에 상기 개방부의 크기를 조절하여 슬릿을 형성하는 슬릿 조절부재를 포함하며,
상기 필라멘트와 상기 돌출변 사이의 형성된 전기장의 세기가 상기 필라멘트와 상기 X선 방출면의 다른 부분 사이에 형성된 전기장의 세기보다 크도록 상기 돌출변을 돌출되게 형성하고,
상기 필라멘트와 상기 슬릿 및 상기 돌출변은 열전자 방출방향에 수직인 평면에 투영시 동일 선상에 투영되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 X선 발생장치
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제7항에 있어서,
상기 X선 방출면은 상기 돌출변으로부터 상기 X선 방출면의 가장자리 방향으로 함몰되게 형성된 제1곡면과 제2곡면을 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 발생장치
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제8항에 있어서,
상기 제1곡면과 상기 제2곡면 및 상기 돌출변은 X선 방출방향으로 기울어진 것을 특징으로 하는 X선 발생장치
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제7항에 있어서,
상기 X선 방출면은 상기 돌출변으로부터 상기 X선 방출면의 가장자리 방향으로 하향 경사진 제1경사면과 제2경사면; 및
상기 제1경사면과 상기 제2경사면 각각으로부터 상기 X선 방출면의 가장자리 방향으로 상향 경사진 제3경사면과 제4경사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 발생장치
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제7항에 있어서,
상기 음극와 상기 양극은 진공 용기 내부에 마련되는 것을 특징으로 하는 X선 발생장치
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제11항에 있어서,
상기 진공 용기의 일측에는 상기 진공 용기 내부를 진공으로 형성하기 위한 진공 펌프가 부착되는 진공 펌프용 포트가 형성되며,
상기 진공 용기의 타측에는 상기 양극으로부터 발생된 X선을 외부로 통과시키는 시창구가 마련된 것을 특징으로 하는 X선 발생장치
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제12항에 있어서,
상기 시창구는 베릴륨 또는 폴리프로필렌 수지 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 X선 발생장치
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제7항에 있어서, 상기 슬릿 조절부재는,
제1플레이트; 및
상기 제1플레이트와 일정 간격 이격되어 상기 슬릿을 형성하는 제2플레이트를 포함하며,
상기 슬릿의 간격을 조절할 수 있도록 상기 제1플레이트와 상기 제2플레이트 중 적어도 어느 하나는 상기 차폐부재에 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 X선 발생장치
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