요약 | 본 발명은 투과 전자 현미경의 스트레인 시험용 시험편 제작 장치에 관한 것이다.본 발명은 다이 홀더(20)의 제1고정핀(205,206)과 제2고정핀(207,208) 사이에 중간 고정핀(210,211)을 설치하면서, 상기 중간 고정핀(210,211)이 대응하는 위치에서 슬롯(204)과 천공홀(209) 사이에 사각 천공홀(212)을 더 설치하고, 상기 펀치 어셈블리(50)는 슬롯 펀치(501)와 블랭킹 펀치(502) 사이에서 상기 사각 천공홀(212)에 대응하는 요입홈 성형용 펀치(213)가 더 설치되어 슬롯(3,4)의 바깥쪽 단면 중앙으로부터 시험편(SP)의 외측면을 향하는 지지부(B)에 요입홈(6,7)이 형성되는 것이다.투과전자현미경, 펀치, 홀더, 다이 홀더, 시험편, 인장, |
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Int. CL | H01J 37/00 (2006.01) G01N 1/28 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01) |
CPC | G01N 1/286(2013.01) G01N 1/286(2013.01) G01N 1/286(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020070087352 (2007.08.30) |
출원인 | 한국기초과학지원연구원 |
등록번호/일자 | 10-0884232-0000 (2009.02.11) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20090223) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2007.08.30) |
심사청구항수 | 4 |