맞춤기술찾기

이전대상기술

가우시안 빔 안테나를 이용한 플라즈마 밀도 측정용 간섭계

  • 기술번호 : KST2015199261
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가우시안 빔 안테나를 이용한 플라즈마 밀도 측정용 간섭계에 관한 것으로, 플라즈마 밀도를 측정하는 간섭계에 있어서, 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발생원, 상기 마이크로파 발생원에서 발생된 마이크로파를 전달하는 도파관, 상기 도파관으로부터 전달받은 마이크로파를 방출시키는 안테나, 상기 안테나에서 방출된 마이크로파를 반사시키는 반사경, 진공용기의 진공플렌지에 일체로 고정되어 상기 반사경을 통해 전달받은 마이크로파를 플라즈마 용기 내부에 전달하는 빔 렌즈 및 상기 플라즈마를 통과한 마이크로파의 위상차를 검출하는 처리부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 진공플렌지 일체형 가우시안 빔 렌즈를 이용하여 마이크로파를 진공용기 내부에 방출시킴에 따라 빔 출력의 손실을 줄이고, 시스템의 단가를 절감시킬 수 있는 이점이 있다.플라즈마 밀도, 가우시안, 간섭계, 안테나, 마이크로파
Int. CL G01B 9/02 (2006.01) G01N 22/00 (2006.01)
CPC G01B 9/02048(2013.01) G01B 9/02048(2013.01) G01B 9/02048(2013.01) G01B 9/02048(2013.01)
출원번호/일자 1020090057477 (2009.06.26)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1121056-0000 (2012.02.21)
공개번호/일자 10-2011-0000105 (2011.01.03) 문서열기
공고번호/일자 (20120319) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.26)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이규동 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구
2 정진일 대한민국 대전 유성구
3 남용운 대한민국 대전 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 공인복 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소))

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2009-0388915-63
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0077761-90
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0226757-96
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.06.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0489794-74
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0489793-28
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.21 수리 (Accepted) 4-1-2011-5212108-42
8 등록결정서
Decision to grant
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0705333-09
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플라즈마 밀도를 측정하는 간섭계에 있어서,마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발생원;상기 마이크로파 발생원에서 발생된 마이크로파를 전달하는 도파관;상기 도파관으로부터 전달받은 마이크로파를 방출시키는 가우시안 빔 안테나;상기 안테나에서 방출된 마이크로파를 반사시키는 반사경;진공용기의 진공플렌지에 일체로 고정되어 상기 반사경을 통해 전달받은 마이크로파를 플라즈마 용기 내부에 전달하는 빔 렌즈; 및상기 플라즈마를 통과한 마이크로파의 위상차를 검출하는 처리부;를 포함하여 구성되며,상기 반사경은,제 1반사경과 제 2반사경을 서로 소정각도를 가지고 이루어져 상기 안테나에서 방출되는 마이크로파를 반사시키며,상기 반사경은 상기 진공용기에 형성된 마주하는 진공플랜지에 각각 구비되어 마이크로파를 방출하고,상기 반사경은, 구동수단을 더 포함하여 마이크로파의 초점 조절을 위해 소정거리 유동되며,상기 가우시안 빔 안테나는, 플라즈마 진공용기와 일체로 결합되고,상기 처리부는,수학식 를 통해 선적분 전자 밀도로 변환하여 플라즈마의 밀도를 검출하는 것을 특징으로 하는 가우시안 빔 안테나를 이용한 플라즈마 밀도 측정용 간섭계
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제 1항에 있어서, 상기 빔 렌즈는,상기 진공용기의 진공플랜지와 접하는 면으로 오링홈을 구비하며,상기 진공플랜지와 볼트 체결될 수 있도록 볼트홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 가우시안 빔 안테나를 이용한 플라즈마 밀도 측정용 간섭계
7 7
제 1항에 있어서, 상기 빔 렌즈는,별도의 결합 플랜지를 구비하여 이에 접착 고정되며, 상기 결합 플랜지는 상기 진공플랜지와 볼트 체결될 수 있도록 볼트홀을 구비하고, 진공플랜지와 접하는 면으로 오링홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 가우시안 빔 안테나를 이용한 플라즈마 밀도 측정용 간섭계
8 8
제 1항에 있어서, 상기 빔 렌즈는,별도의 결합플랜지를 구비하고, 상기 빔 렌즈에는 볼트홀이 구비되어 상기 결합플랜지에 형성된 볼트홈을 통해 볼트 체결되고, 상기 결합플랜지는 볼트홀을 구비하여 상기 진공플랜지에 볼트 결합되며, 상기 빔 렌즈는 결합플랜지와 접하는 면으로 오링을 결합 수 있는 오링홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 가우시안 빔 안테나를 이용한 플라즈마 밀도 측정용 간섭계
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.