요약 | 본 발명은 마이크로웨이브를 이용해 균일한(uniform) 대면적(large-area) 플라즈마를 생성하기 위한 새로운 구조의 안테나에 관한 것으로서, 본 발명의 플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나는, 도파관, 안테나 몸체 및 상기 도파관과 상기 안테나 몸체를 전기적으로 연결하는 동축구조 연결부를 포함하는 플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나로서, 상기 안테나 몸체는 복수개의 슬롯이 형성된 도넛형상의 도전체 블록으로 이루어지고, 상기 도전체 블록의 복수개의 슬롯 사이에 홈이 형성되며, 상기 홈에 복수개의 영구자석이 삽입된다. 상기 복수개의 슬롯은 상기 도전체 블록의 내외부를 관통하여 형성될 수 있으며, 상기 복수개의 슬롯은 사각파 형상으로 반복되도록 형성될 수 있다.본 발명에 의하면, 영구자석들이 안테나 자체에 직접 장착되어, ECR에 의해 발생한 고온전자들(energetic electrons)은 자기장구배와 곡률에 의한 힘에 의해 마이크로웨이브 안테나 전체에 걸쳐 분포되게 되고, 다시 고온전자들은 주변의 중성입자를 이온화시켜서 균일한 대면적의 균일한 대칭성을 가지는 플라즈마를 생성할 수 있는 효과가 얻어진다. |
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Int. CL | H05H 1/46 (2006.01) H05H 1/24 (2006.01) |
CPC | H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020100065094 (2010.07.06) |
출원인 | 한국기초과학지원연구원 |
등록번호/일자 | 10-1175324-0000 (2012.08.13) |
공개번호/일자 | 10-2011-0020723 (2011.03.03) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20120820) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 |
대한민국 | 1020090117397 | 2009.11.30
대한민국 | 1020090078248 | 2009.08.24 |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2010.07.06) |
심사청구항수 | 12 |