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플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나

  • 기술번호 : KST2015199279
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로웨이브를 이용해 균일한(uniform) 대면적(large-area) 플라즈마를 생성하기 위한 새로운 구조의 안테나에 관한 것으로서, 본 발명의 플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나는, 도파관, 안테나 몸체 및 상기 도파관과 상기 안테나 몸체를 전기적으로 연결하는 동축구조 연결부를 포함하는 플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나로서, 상기 안테나 몸체는 복수개의 슬롯이 형성된 도넛형상의 도전체 블록으로 이루어지고, 상기 도전체 블록의 복수개의 슬롯 사이에 홈이 형성되며, 상기 홈에 복수개의 영구자석이 삽입된다. 상기 복수개의 슬롯은 상기 도전체 블록의 내외부를 관통하여 형성될 수 있으며, 상기 복수개의 슬롯은 사각파 형상으로 반복되도록 형성될 수 있다.본 발명에 의하면, 영구자석들이 안테나 자체에 직접 장착되어, ECR에 의해 발생한 고온전자들(energetic electrons)은 자기장구배와 곡률에 의한 힘에 의해 마이크로웨이브 안테나 전체에 걸쳐 분포되게 되고, 다시 고온전자들은 주변의 중성입자를 이온화시켜서 균일한 대면적의 균일한 대칭성을 가지는 플라즈마를 생성할 수 있는 효과가 얻어진다.
Int. CL H05H 1/46 (2006.01) H05H 1/24 (2006.01)
CPC H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01)
출원번호/일자 1020100065094 (2010.07.06)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1175324-0000 (2012.08.13)
공개번호/일자 10-2011-0020723 (2011.03.03) 문서열기
공고번호/일자 (20120820) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020090117397   |   2009.11.30
대한민국  |   1020090078248   |   2009.08.24
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.06)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유현종 대한민국 대전광역시 유성구
2 장수욱 대한민국 대전광역시 유성구
3 정용호 대한민국 서울특별시 광진구
4 이봉주 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2010-0437228-67
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.09.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0511931-42
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.21 수리 (Accepted) 4-1-2011-5212108-42
4 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0780071-23
5 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.01.31 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0081693-48
6 보정요구서
Request for Amendment
2012.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0020263-59
7 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2012.02.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0164463-23
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0143875-30
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0382024-51
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.05.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0382025-07
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2012.07.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0385800-36
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
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번호 청구항
1 1
도파관, 안테나 몸체, 및 상기 도파관과 상기 안테나 몸체 간에 연결된 동축구조 연결부를 포함하는 플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나로서,상기 안테나 몸체는 복수개의 슬롯이 형성된 도넛형상의 도전체 블록으로 이루어지고, 상기 도전체 블록의 복수개의 슬롯 사이에 홈이 형성되고, 상기 홈에 복수개의 영구자석이 삽입되며; 상기 동축구조 연결부는 내부 도전체의 외부에 외부 도전체가 위치된 대지름 동축구조로 이루어지고, 상기 내부도전체의 일측 단부가 상기 안테나 몸체에 통전 가능하게 연결되고, 상기 내부도전체의 타측 단부를 감싸는 세라믹절연체가 구비되고, 상기 외부도전체는 상기 도파관과 안테나 몸체 간에 통전 가능하게 연결되며,상기 내부도전체의 세라믹절연체가 커버된 부분이 상기 도파관에 삽입되어 도파관 속의 마이크로웨이브가 동축구조로 커플링되어 파워가 전달되는플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나
2 2
제1항에 있어서,상기 복수개의 슬롯은 상기 도전체 블록의 내부와 외부를 관통하여 형성되는플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나
3 3
제1항에 있어서,상기 안테나 몸체는 상기 영구자석의 외부이탈을 단속하는 덮개를 더 포함하는플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 복수개의 슬롯은 사각파 형상으로 반복되도록 형성된플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나
5 5
제4항에 있어서,상기 복수개의 슬롯의 상기 도전체 블록의 높이방향 및 원주방향의 길이는 사용주파수에 따라 정해지는 파장의 1/2 길이로 형성되며,상기 복수개의 슬롯이 단부에서 단락(shot)되는플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나
6 6
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 복수개의 영구자석은 상기 도전체 블록의 복수개의 슬롯 사이에 형성된 홈에 삽입되며, 윗쪽이 N극 아래쪽이 S극으로 되거나 또는 위쪽이 S극 아래쪽이 N극이 되도록 정렬되는플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나
7 7
제1항에 있어서,상기 안테나 몸체는 동축구조 연결부와 전기적으로 연결되는 외부도전체 연결부 및 내부도전체 연결부를 더 포함하는플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나
8 8
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 안테나 몸체 내부의 자기장 구배와 곡률에 의한 고온전자의 움직임은 다음의 식 에 의해 지배되고, 여기서, 는 드리프트 속도 벡터이고, 는 자기장 방향 속도벡터, 는 자기장과 직각방향 속도, 는 자기장 벡터, 는 자기장 곡률벡터인플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나
9 9
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 동축구조 연결부는 대지름 동축구조로 이루어지고, 내부 도전체;상기 내부 도전체의 외부로 위치되는 외부 도전체; 및 상기 내부도전체의 일단부를 커버하는 세라믹절연체를 포함하는플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나
10 10
제9항에 있어서,상기 동축구조 연결부는 상기 내부 도전체 및 외부 도전체를 냉각시키는 냉각로를 더 포함하는플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나
11 11
제9항에 있어서,상기 동축구조 연결부는 안테나 몸체 연결부를 더 포함하는플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나
12 12
제9항에 있어서,상기 내부도전체는 상기 도파관에 삽입되어 도파관속의 마이크로웨이브가 동축구조로 커플링되어 파워가 전달되는플라즈마 발생용 마이크로웨이브 안테나
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN102612863 CN 중국 FAMILY
2 KR101260170 KR 대한민국 FAMILY
3 KR1020110020702 KR 대한민국 FAMILY
4 US08648534 US 미국 FAMILY
5 US20120153825 US 미국 FAMILY
6 WO2011025143 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
7 WO2011025143 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN102612863 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN102612863 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 KR20110020702 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.