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SEM의 시료 스테이지

  • 기술번호 : KST2015199280
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 시료홀더의 위치가 변경되거나 회전 및 기울어져 방향이 변경되어도 시료에 냉기를 전달하는 냉기전달수단이 뒤틀리거나 변형되지 않은 상태를 유지할 수 있도록 시료홀더와 냉기전달수단을 지지할 수 있게 하기 위한 것으로서, 상기 냉기전달수단에 의해 지지되는 냉각수단은, 상기 열흡수원과 연결된 제1로드와; 상기 제1로드의 축방향으로 자유이동 가능하도록 제1로드에 연결된 제2로드와; 수평면상에서 회동에 의한 신축이 가능한 지지암과, 수평면상에서 굴곡에 의해 신축이 가능한 냉각와이어로 구성된 수평신축부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01J 37/20 (2006.01)
CPC H01J 37/20(2013.01) H01J 37/20(2013.01) H01J 37/20(2013.01) H01J 37/20(2013.01) H01J 37/20(2013.01)
출원번호/일자 1020100096281 (2010.10.04)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1104302-0000 (2012.01.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.10.04)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정종만 대한민국 대전광역시 유성구
2 김윤중 대한민국 대전광역시 유성구
3 권희석 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김원준 대한민국 대전광역시 서구 둔산대로***번길 **, 골드벤처타워***호 타임국제특허법률사무소 (만년동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0639002-38
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.07.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.08.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0069880-16
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0584980-68
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.21 수리 (Accepted) 4-1-2011-5212108-42
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.12.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0976308-09
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.12.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0976328-12
8 등록결정서
Decision to grant
2011.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0766841-44
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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시료가 안착되는 착탈식 시료홀더와, 열흡수원과, 상기 시료홀더와 상기 열흡수원 사이에 위치하여 상기 시료홀더를 냉각시키기 위한 냉각수단을 포함하는 주사전자현미경의 시료 스테이지에 있어서,상기 냉각수단은,상기 열흡수원과 연결된 제1로드;상기 제1로드의 축방향으로 자유이동 가능하도록 제1로드에 연결된 제2로드; 수평면상에서 회동에 의한 신축이 가능하며, 일측 말단이 상기 제2로드의 축 방향으로 자유이동 가능하도록 제2로드에 연결되어 있고, 타측 말단이 상기 시료홀더와 수직면상에서 상대적으로 회전이 가능하도록 홀더연결장치를 통해 시료홀더에 연결된 지지암과, 수평면상에서 굴곡에 의해 신축이 가능하며, 양 말단이 상기 지지암의 양 말단과 결합되어 로드들을 통해 전달되는 냉기를 시료홀더에 전달하는 냉각와이어로 구성된 수평신축부;를 포함하며,상기 지지암은 두 개 이상의 회동바를 힌지 결합하여 수평 방향으로 회동될 수 있게 구성되고, 상기 회동바에는, 상기 냉각와이어가 관통하는 관통홀이 형성되어 상기 냉각와이어의 중간이 상기 관통홀을 통과하여 회동바에 의해 지지됨을 특징으로 하는 주사전자현미경의 시료 스테이지
2 2
삭제
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제 1 항에 있어서, 상기 홀더연결장치는, 상기 지지암의 일측 말단에 수평으로 회동 가능하게 연결되고 일측에 회전축이 형성된 지지암연결구; 상기 지지암연결구에 형성된 회전축에 수직 방향으로 회전될 수 있게 연결되고, 상기 시료홀더를 수평으로 회전될 수 있게 지지하는 홀더연결구; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 시료 스테이지
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제 3 항에 있어서, 상기 열흡수원은, 냉매가 저장되고 상부에 출입로가 형성된 내통; 상기 내통의 외부 일측에 설치되고 상기 제1로드가 일체로 형성된 냉기플레이트; 및 상기 내통과 냉기플레이트를 감싸도록 외부에 설치된 외통;을포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 시료 스테이지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국기초과학지원연구원 한국기초과학지원연구원 미래역량강화연구 Electron Precession System의 요소기술 개발