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1
이온을 통과시키기 위한 제1 영역을 포함하는 제1 전극; 및
상기 제1 전극의 한쪽 끝을 둘러싸도록 배치되는 제2 전극을 포함하되,
상기 제2 전극은,
상기 제1 영역과 정렬되어 이온을 통과시키기 위한 제2 영역; 및
상기 제2 영역을 통과하는 이온의 진행 방향을 따라 연장되는 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 주입기
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제 1항에 있어서,
상기 돌출부는, 상기 제2 영역을 통과하는 이온의 진행 방향에 대해 경사진 면을 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 주입기
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3
제 2항에 있어서,
상기 경사진 면은 상기 제2 전극의 내측면인 것을 특징으로 하는 이온 주입기
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4
제 1항에 있어서,
상기 제2 전극에 전력이 인가되며, 상기 돌출부에 의한 전기장에 의해 상기 제2 영역을 통과하는 이온이 집속되는 것을 특징으로 하는 이온 주입기
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5
제 4항에 있어서,
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 이온 주입기
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제 1항에 있어서,
상기 제1 전극은 일 방향으로 연장되며,
상기 제1 영역은 상기 일 방향을 따라 상기 제1 전극 내에 형성된 채널인 것을 특징으로 하는 이온 주입기
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7
제1 챔버 및 제2 챔버;
외부로부터 상기 제1 챔버 내로 이온을 주입하기 위한 제1 영역을 포함하는 제1 전극;
상기 제1 전극의 한쪽 끝을 둘러싸도록 배치되며, 상기 제1 영역과 정렬되어 이온을 통과시키기 위한 제2 영역 및 상기 제2 영역을 통과하는 이온의 진행 방향을 따라 연장되며 상기 제2 영역을 통과하는 이온을 집속시키는 돌출부를 포함하는 제2 전극; 및
상기 제2 영역을 통과하여 상기 돌출부에 의해 집속된 이온을 상기 제1 챔버로부터 상기 제2 챔버 내로 주입하기 위한 스키머를 포함하되,
상기 제1 챔버 내의 압력은 외부의 압력보다 낮은 것을 특징으로 하는 질량 분석기
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8
제 7항에 있어서,
상기 돌출부는, 상기 제2 영역을 통과하는 이온의 진행 방향에 대해 경사진 면을 포함하는 것을 특징으로 하는 질량 분석기
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9
제 8항에 있어서,
상기 경사진 면은 상기 제2 전극의 내측면인 것을 특징으로 하는 질량 분석기
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10
제1 전극 및 상기 제1 전극의 한쪽 끝을 둘러싸도록 배치되며 돌출부를 포함하는 제2 전극을 제공하는 단계;
상기 제2 전극에 전력을 인가하는 단계;
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 내로 이온을 통과시키는 단계; 및
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 통과하는 이온을, 상기 돌출부에 의한 전기장에 의해 집속시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 집속 방법
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11
제 10항에 있어서,
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 전기적으로 연결되며,
상기 제2 전극에 전력을 인가하는 단계는, 상기 제1 전극에 전력을 인가함으로써 상기 제2 전극에 전력을 인가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 집속 방법
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