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온도변화에 따른 다이나믹한 결정방위 측정장치

  • 기술번호 : KST2015199290
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 온도변화에 따른 다이나믹한 결정방위 측정장치에 관한 것으로, 재료의 결정방위를 측정하기 위해 전자빔을 주사하여 재료에서 방출되는 2차 전자를 통해 결정방위를 측정하는 측정장치에 있어서, 진공챔버에 내에 위치한 재료에 전자빔을 주사하여 이를 통해 재료의 형상을 측정하는 주사 전자 현미경(SEM), 상기 진공챔버 내에서 주자 전자 현미경을 통해 주사된 전자빔이 재료에서 산란되면 이를 통해 결정 방위를 측정하는 전자 산란 회절장치(EBSD), 상기 진공챔버 내에 구비되어 상기 재료의 온도를 변화시키기 위해 열을 가해주는 히터부, 상기 히터부를 제어하여 상기 진공챔버내에 원하고자 하는 온도로 설정하기 위한 히터제어부 및 상기 SEM과 EBSD에서 측정된 재료의 결정방위를 출력하거나, 상기 진공챔버 내 온도를 변경하기 위해 상기 히터부를 동작시키는 히터제어부를 제어하는 단말기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. SEM, EBSD, 결정방위, 히터,
Int. CL G01N 25/00 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
CPC H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01)
출원번호/일자 1020080089383 (2008.09.10)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1037139-0000 (2011.05.19)
공개번호/일자 10-2010-0033450 (2010.03.30) 문서열기
공고번호/일자 (20110526) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.09.10)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정혜진 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 공인복 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0642718-22
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.07.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.08.13 수리 (Accepted) 9-1-2009-0046211-61
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0437059-94
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0789268-94
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.11.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0789272-77
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0153942-46
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.10.21 수리 (Accepted) 4-1-2011-5212108-42
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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재료의 결정방위를 측정하기 위해 전자빔을 주사하여 재료에서 방출되는 2차 전자를 통해 결정방위를 측정하는 측정장치에 있어서, 진공챔버에 내에 위치한 재료에 전자빔을 주사하여 이를 통해 재료의 형상을 측정하는 주사 전자 현미경(SEM); 상기 진공챔버 내에서 주자 전자 현미경을 통해 주사된 전자빔이 재료에서 산란되면 이를 통해 결정 방위를 측정하는 전자 산란 회절장치(EBSD); 상기 진공챔버 내에 구비되어 상기 재료의 온도를 변화시키기 위해 열을 가해주는 히터부; 상기 히터부를 제어하여 상기 진공챔버내에 원하고자하는 온도로 설정하기 위한 히터제어부; 및 상기 SEM과 EBSD에서 측정된 재료의 결정방위를 출력하거나, 상기 진공챔버 내 온도를 변경하기 위해 상기 히터부를 동작시키는 히터제어부를 제어하는 단말기;를 포함하고, 상기 히터부는 피드쓰루(Feedthrough) 히터이며 상기 진공챔버의 내측에 구비되되, 전자빔의 통로와 CCD 카메라의 촬영방향을 제외한 위치에 설치되고, 상기 진공챔버 내에 하나 또는 둘 이상의 복수개로 구비되며, 상기 히터제어부는 상기 히터부를 통해 변화된 온도를 검출하여 원하고자는 온도를 유지시키기 위해 상기 히터제어부와 상호 연동하는 온도검출부;를 더 포함하고, 상기 온도검출부는 상기 단말기로부터 설정온도를 입력받고 측정된 온도값을 통해 상기 히터제어부를 자동 제어하는 것을 특징으로 하는 온도변화에 따른 다이나믹한 결정방위 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 단말기는, 퍼스널 컴퓨터(PC)인 것을 특징으로 하는 온도변화에 따른 다이나믹한 결정방위 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 히터부를 통한 재료의 온도변화에 따라 주사 전자 현미경과 전자 산란 회절장치의 이미지를 각각 획득할 수 있는 것을 특징으로 하는 온도변화에 따른 다이나믹한 결정방위 측정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.