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(1) Mn(NO3)2·4H2O, Mn(CH3CO2)2, Mn(CH3CO2)2·4H2O, Mn(ClO4)2·6H2O, MnSO4·xH2O, MnSO4·H2O 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 망간 전구체에 알코올(alcohol)을 가하여 전이금속이 함유된 용액을 준비하고, Na2SiO3, SiCl4, Si(OCOCH3)4, SiI4, SiF4, SiC32H8O2, SiC48H26N8O2, SiC32H18N2O2 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 실리콘을 포함하는 화합물에 증류수를 가하여 실리콘이 함유된 용액을 준비하는 제1단계;(2) 상기 제1단계에서 준비된 전이금속이 함유된 용액과 실리콘이 함유된 용액을 100 내지 300℃의 온도범위에서, 5 내지 50시간 동안 반응시켜 전이금속-실리콘 중공구를 형성하는 제2단계; 및(3) 제2단계를 통하여 형성된 전이금속-실리콘 중공구를 열처리하는 제3단계를 포함하여 이루어지는 전이금속-실리콘 미세 중공구의 제조방법
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