맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

벨트형 자석을 포함한 중성입자 빔 발생장치

  • 기술번호 : KST2015199326
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 중성입자 빔 발생장치에 관한 것으로, 고 진공도를 유지하면서도 고 밀도의 플라즈마를 전체 플라즈마 챔버 공간에 균일하게 분포하게 하여, 대면적 기판에 중성입자 빔을 이용하여 균일한 박막을 제작하기 위한 것이다. 본 발명에 따르면, 플라즈마 챔버를 스테인레스스틸로 구성하고, 한 쌍의 벨트형 자석을 플라즈마 챔버 둘레에 배치하여 상기 목적을 달성할 수 있다.
Int. CL H05H 3/06 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01)
CPC H05H 3/06(2013.01) H05H 3/06(2013.01) H05H 3/06(2013.01) H05H 3/06(2013.01)
출원번호/일자 1020110055417 (2011.06.09)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1307019-0000 (2013.09.04)
공개번호/일자 10-2012-0136470 (2012.12.20) 문서열기
공고번호/일자 (20130911) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.09)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 유 석재 대한민국 대전광역시 유성구
2 김 성봉 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0432460-16
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.10.21 수리 (Accepted) 4-1-2011-5212108-42
3 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2012.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2012-0014897-06
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.02.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.03.23 수리 (Accepted) 9-1-2012-0024561-14
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0527674-66
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0584256-65
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.10.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0891409-20
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0891441-82
12 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2013.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0076227-59
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0272898-60
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.03.29 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2013-0272924-60
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
17 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment		 2013.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0480968-83
18 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2013.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0480967-37
19 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2013.08.07 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0714829-76
20 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.08.07 수리 (Accepted) 1-1-2013-0714903-57
21 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2013.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0612244-54
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플라즈마를 생성하는 플라즈마 방전 공간을 제공하는 플라즈마 챔버;플라즈마 이온을 충돌에 의해 중성입자로 변환시키기 위해 상기 플라즈마 챔버 내부에 설치되는 중성화 반사판;중성입자 외의 플라즈마 이온 및 전자를 상기 플라즈마 방전 공간에 제한하도록 상기 플라즈마 방전 공간의 하단에 설치되는 리미터;상기 플라즈마 챔버 상단에 장착되어 플라즈마 챔버 안으로 마이크로파를 출사하는 마이크로파 도파관;및상기 플라즈마 챔버의 둘레를 둘러싸는 한 쌍의 벨트형 자석;을 포함하고,상기 한 쌍의 벨트형 자석 각각은 벨트의 안쪽과 바깥쪽이 서로 상보적인 자력 극성을 나타내고, 하나의 벨트 트랙에서 안쪽의 자석 극성은 일정하게 하고, 바깥쪽의 자석 극성 또한 그에 대한 상보적 극성으로 일정하게 하고, 플라즈마 챔버 둘레에 상하로 나란히 배열되는 두 개의 벨트형 자석의 자력 극성도 상하위치에서 서로 상보적이 되도록 구성하여, 상기 벨트형 자석에 의해 형성되는 자기력선이 위쪽 벨트형 자석과 아래쪽 벨트형 자석을 연결하는 방식으로 되되, 영구자석 또는 전자석이 연속적으로 배열되어 벨트를 이루는 것을 특징으로 하는 중성입자 빔 발생장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 플라즈마 챔버는 비 자성 금속재로 구성하는 것을 특징으로 하는 중성입자 빔 발생장치
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 벨트형 자석은, 막대 자석이 연속적으로 촘촘히 다수 배열되어 하나의 벨트를 이루게 하여 구성되는 것을 특징으로 하는 중성입자 빔 발생장치
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 마이크로파 도파관은 상기 플라즈마 챔버의 상단에 장착되는 것을 특징으로 하는 중성입자 빔 발생장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 벨트형 자석은 플라즈마 챔버 형상에 따라 원형 또는 타원 트랙 형태로 구성하는 것을 특징으로 하는 중성입자 빔 발생장치
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN103766002 CN 중국 FAMILY
2 EP02720518 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 EP02720518 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
4 EP03002996 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
5 EP03002996 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
6 JP05774778 JP 일본 FAMILY
7 JP06006286 JP 일본 FAMILY
8 JP26522551 JP 일본 FAMILY
9 JP27133321 JP 일본 FAMILY
10 KR101383530 KR 대한민국 FAMILY
11 KR101395485 KR 대한민국 FAMILY
12 US09589772 US 미국 FAMILY
13 US20140124364 US 미국 FAMILY
14 WO2012169747 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
15 WO2012169747 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN103766002 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN103766002 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 JP2014522551 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP2015133321 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JP5774778 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 JP6006286 JP 일본 DOCDBFAMILY
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 국가핵융합연구소 협동연구사업 플라즈마 기술을 이용한 LED 광원소재의 핵심원천기술 개발