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(a) 분말 또는 벌크 형태의 리튬 전이금속 산화물을 준비하는 단계;(b) 소정의 가스를 이용하여, DBD(dielectric barrier discharge) 형, CCP(capacitively coupled plasma) 형, TCP(transformer coupled plasma)/ICP(inductively coupled plasma) 형, ECR(electron cyclotron resonance) 형, 또는 SWP(surface wave plasma) 형 플라즈마 장치에 의해 플라즈마를 생성시키는 단계; 및(c) 상기 플라즈마를 이용하여 상기 리튬 전이금속 산화물을 플라즈마 처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,리튬 전이 금속 산화물의 불순물을 제거하는 방법
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제 1항에 있어서,상기 리튬 전이금속 산화물은 LiCoO2, LiNiO2, LiMn2O4, LiFePO4, Li2FeSiO4, 및 LiNi1-x-yCoxMyO2 (M은 Co, Mn, Mg, Fe, Ni, Al 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 1종의 금속, 0003c#x+y003c#1)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는,리튬 전이 금속 산화물의 불순물을 제거하는 방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 리튬 전이금속 산화물의 불순물은 LiOH, Li2CO3 또는 LiO인,리튬 전이 금속 산화물의 불순물을 제거하는 방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 소정의 가스는 메탄(CH4), 아세틸렌(C2H2), 하이드라진(N2H2), 수소(H2), 삼불화질소(NF3), 육불화황(SF6), 사불화탄소(CF4), 불소(F2), 사염화탄소(CCl4), 이산화염소(ClO2), 염소(Cl2), 브롬화수소 (HBr), 및 브롬(Br2) 중 적어도 어느 하나의 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는,리튬 전이 금속 산화물의 불순물을 제거하는 방법
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플라즈마 발생용 가스 공급부, 리튬 전이금속 분말 공급부, 플라즈마 발생 챔버를 포함하는 플라즈마 장치에서,상기 플라즈마 발생 챔버로 메탄(CH4), 아세틸렌(C2H2), 하이드라진(N2H2), 수소(H2), 삼불화질소(NF3), 육불화황(SF6), 사불화탄소(CF4), 불소(F2), 사염화탄소(CCl4), 이산화염소(ClO2), 염소(Cl2), 브롬화수소 (HBr), 및 브롬(Br2) 중 적어도 어느 하나와 질소(N2)의 혼합 가스를 공급하는 단계;상기 리튬 전이금속 분말 공급부를 통해 분말상의 리튬 전이금속 산화물을 상기 플라즈마 발생 챔버로 공급하는 단계; 및상기 플라즈마 발생 챔버로의 고주파의 인가로 플라즈마를 발생시켜 상기 플라즈마를 이용하여 상기 리튬 전이금속 산화물을 플라즈마 처리하는 단계를 포함하는,리튬 전이 금속 산화물의 불순물을 제거하는 방법
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제 5항에 있어서,상기 혼합 가스들은 각각 개별 저장부에 저장되어 있고,상기 저장부들로부터 상기 플라즈마 발생 챔버로 공급되는 가스들은 독립적으로 공급 유량이 조절가능 하도록 구성되어 있고,상기 공급 유량의 조절로, 상기 리튬 전이금속 산화물의 불순물이 제거되는 정도를 조절하는 것을 특징으로 하는,리튬 전이 금속 산화물의 불순물을 제거하는 방법
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