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관형 플라즈마 표면 처리 장치

기술번호 : KST2015199362
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 플라즈마를 이용한 표면 처리 장치에 관한 것으로서, 구체적으로는 관형 플라즈마 전극을 이용해 피처리물을 관형 전극 내부로 통과시키면서 처리하는 플라즈마 표면 처리 장치에 관한 것이다.
Int. CL	H05H 1/24 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01) C08J 7/00 (2006.01)
CPC	H01J 37/32458(2013.01) H01J 37/32458(2013.01) H01J 37/32458(2013.01) H01J 37/32458(2013.01) H01J 37/32458(2013.01) H01J 37/32458(2013.01)
출원번호/일자	1020120078234 (2012.07.18)
출원인	한국기초과학지원연구원
등록번호/일자	10-1415688-0000 (2014.06.30)
공개번호/일자	10-2014-0011638 (2014.01.29) 문서열기
공고번호/일자	(20140704) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2012.07.18)
심사청구항수	7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한국기초과학지원연구원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	정용호	대한민국	서울 광진구
2	석동찬	대한민국	대전 서구
3	정현영	대한민국	전북 군산시 서당길 *,

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	남건필	대한민국	서울특별시 영등포구 경인로 **, 동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2	차상윤	대한민국	서울특별시 영등포구 경인로 **, 동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	한국기초과학지원연구원		대전광역시 유성구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2012.07.18	수리 (Accepted)	1-1-2012-0573994-37
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2012.08.31	수리 (Accepted)	4-1-2012-5184293-13
3	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2012.08.31	수리 (Accepted)	4-1-2012-5184331-50
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.04.15	수리 (Accepted)	4-1-2013-5058386-17
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.04.15	수리 (Accepted)	4-1-2013-5058545-81
6	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2013.05.03	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
7	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2013.06.05	수리 (Accepted)	9-1-2013-0041666-87
8	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2013.10.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0698595-57
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2013.12.03	수리 (Accepted)	1-1-2013-1107311-91
10	[대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)	2014.03.04	수리 (Accepted)	1-1-2014-0210848-91
11	등록결정서 Decision to grant	2014.04.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0231033-81
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.06.22	수리 (Accepted)	4-1-2020-5135881-88

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 플라즈마 발생용 가스의 공급을 위한 가스 공급구, 상부에 피처리물의 공급을 위한 피처리물 유입구와 하부에 피처리물 및 플라즈마 가스 유출을 위한 피처리물 유출구를 포함한 하우징;상기 하우징을 수직으로 관통하며 상기 하우징 내에 배치되며 상기 피처리물 유입구 및 피처리물 유출구와 소통하는 관형 제 1 전극;상기 관형 제 1 전극의 외부 둘레 방향을 따라 상기 관형 제 1 전극과 마주보도록 상기 관형 제 1 전극으로부터 일정한 거리만큼 이격되어 배치되어 플라즈마 발생 공간을 형성하는, 전도성 소재 또는 소재막 재질로 된 관형 제 2 전극;상기 관형 제 2 전극의 관 둘레의 내부면을 따라 배치된 관형 유전체; 및상기 관형 제 1 전극 및 상기 관형 제 2 전극에 교류 전압을 인가하기 위한 교류 전원을 포함하고,상기 관형 제 1 전극의 상기 관형 유전체 및 상기 관형 제 2 전극이 둘러싸고 있는 영역에서 상기 관형 제 1 전극에 개구가 형성되어 있으며, 상기 개구를 통해 상기 플라즈마 발생 공간에서 발생된 플라즈마가 상기 관형 제 1 전극 내부로 유입될 수 있는,관형 플라즈마 표면 처리 장치
2	2 제 1 항에 있어서,상기 관형 제 1 전극에 형성되어 있는 개구는 하나 이상의 슬릿 형상 또는 구멍 형상인 것을 특징으로 하는,관형 플라즈마 표면 처리 장치
3	3 제 1 항에 있어서,상기 관형 제 1 전극의 상기 관의 길이 방향에 수직한 단면의 형상이 원형, 사각형, 삼각형, 또는 타원형인 것을 특징으로 하는,관형 플라즈마 표면 처리 장치
4	4 제 1 항에 있어서,상기 교류 전원의 주파수가 50Hz 내지 200MHz이고, 전압이 1kV 내지 40kV인 것을 특징으로 하는,관형 플라즈마 표면 처리 장치
5	5 제 1 항에 있어서,상기 교류 전원의 주파수가 5kHz 내지 100kHz이고, 전압이 2kV 내지 10kV인 것을 특징으로 하는,관형 플라즈마 표면 처리 장치
6	6 제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 발생용 가스는 질소, 산소, 불활성 기체, 이산화탄소, 산화질소, 플루오르화 기체, 수소, 암모니아, 염소계 기체, 탄화수소, 오존 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는,관형 플라즈마 표면 처리 장치
7	7 플라즈마 발생용 가스의 공급을 위한 가스 공급구를 포함한 하우징;상기 하우징을 수직으로 관통하며, 상부에 피처리물의 공급을 위한 피처리물 유입구와 하부에 피처리물 및 플라즈마 가스 유출을 위한 피처리물 유출구를 포함한 관형 제 1 전극;상기 관형 전극의 외부 둘레 방향을 따라 상기 관형 전극과 마주보도록 상기 관형 전극으로부터 일정한 거리만큼 이격되어 배치되어 플라즈마 발생 공간을 형성하는 관형 제 2 전극;상기 관형 제 2 전극의 관 둘레의 내부면을 따라 배치된 관형 유전체; 및상기 관형 제 1 전극 및 상기 관형 제 2 전극에 교류 전압을 인가하기 위한 교류 전원을 포함하고,상기 관형 제 1 전극의 상기 관형 유전체 및 상기 관형 제 2 전극이 둘러싸고 있는 영역에서 상기 관형 제 1 전극에 개구가 형성되어 있으며, 상기 개구를 통해 상기 플라즈마 발생 공간에서 발생된 플라즈마가 상기 관형 제 1 전극 내부로 유입될 수 있는,관형 플라즈마 표면 처리 장치

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허 등록번호 표입니다.
특허 등록번호	10-1415688-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20120718 출원 번호 : 1020120078234 공고 연월일 : 20140704 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20140401 청구범위의 항수 : 7 유별 : H05H 1/24 발명의 명칭 : 관형 플라즈마 표면 처리 장치 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 한국기초과학지원연구원 대전광역시 유성구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	159,000 원	2014년 06월 30일	납입
제 4 년분	금 액	135,800 원	2017년 03월 27일	납입
제 5 년분	금 액	97,000 원	2018년 04월 11일	납입
제 6 년분	금 액	97,000 원	2019년 03월 25일	납입
제 7 년분	금 액	183,000 원	2020년 05월 25일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2012.07.18	수리 (Accepted)	1-1-2012-0573994-37
2	출원인정보변경(경정)신고서	2012.08.31	수리 (Accepted)	4-1-2012-5184293-13
3	출원인정보변경(경정)신고서	2012.08.31	수리 (Accepted)	4-1-2012-5184331-50
4	출원인정보변경(경정)신고서	2013.04.15	수리 (Accepted)	4-1-2013-5058386-17
5	출원인정보변경(경정)신고서	2013.04.15	수리 (Accepted)	4-1-2013-5058545-81
6	선행기술조사의뢰서	2013.05.03	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
7	선행기술조사보고서	2013.06.05	수리 (Accepted)	9-1-2013-0041666-87
8	의견제출통지서	2013.10.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0698595-57
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2013.12.03	수리 (Accepted)	1-1-2013-1107311-91
10	[대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서	2014.03.04	수리 (Accepted)	1-1-2014-0210848-91
11	등록결정서	2014.04.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0231033-81
12	출원인정보변경(경정)신고서	2020.06.22	수리 (Accepted)	4-1-2020-5135881-88


과제고유번호	1345195608
세부과제번호	EN1021
연구과제명	플라즈마를 활용한 융복합 연구사업
성과구분	출원
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	기초기술연구회
연구주관기관명	국가핵융합연구소
성과제출연도	2012
연구기간	201001~201212
기여율	1
연구개발단계명	응용연구
6T분류명	ET(환경기술)

특허성과

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