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고자기장을 발생시키는 초전도코일 내에 구성되는 계측챔버;상기 계측챔버 내에 구성되는 3축스테이지;상기 3축스테이지의 상부에 결합되어 시료가 놓여지는 냉각스테이지;상기 계측챔버의 내부를 진공상태로 만들기 위한 진공펌프가 구성되는 진공챔버;상기 3축스테이지의 이동 및 회동 중 적어도 하나를 제어하는 3축제어장치; 및상기 냉각스테이지를 극저온으로 냉각하는 극저온냉각장치를 포함하고,상기 계측챔버와 진공챔버는 중공의 연결관에 의해 공간적으로 연결되며,상기 3축제어장치는 상기 연결관의 내부에 구성되어 상기 3축스테이지를 제어하는 동력을 전달하는 제어라인을 포함하고,상기 극저온냉각장치는 상기 연결관의 내부에 구성되어 상기 냉각스테이지에 냉기를 공급하는 냉각라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 스테이지를 포함하는 고자기장 측정 시스템
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제 1항에 있어서,상기 제어라인 및 냉각라인은 적어도 하나의 써멀링크(Thermal link)로 연결되는 것을 특징으로 하는 극저온 스테이지를 포함하는 고자기장 측정 시스템
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제 1항에 있어서,상기 냉각라인은,상기 극저온냉각장치와 냉각스테이지 간의 냉매순환을 위한 냉매관을 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 스테이지를 포함하는 고자기장 측정 시스템
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제 4항에 있어서,상기 냉매관의 적어도 일부는,플랙시블(Flexible)관 또는 벨로우즈(Bellows)관으로 형성되는 것을 특징으로 하는 극저온 스테이지를 포함하는 고자기장 측정 시스템
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제 1항에 있어서,상기 3축스테이지는,상기 냉각스테이지를 X축 방향으로 이동시키는 X축이동부;상기 냉각스테이지를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축이동부; 및상기 냉각스테이지를 회동시키는 회동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 스테이지를 포함하는 고자기장 측정 시스템
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제 6항에 있어서,상기 3축스테이지는 상기 X축이동부, Y축이동부 및 회동부가 순차적으로 적층되어 고정설치되며,상기 냉각스테이지는 상기 회동부의 상부에 고정설치되는 것을 특징으로 하는 극저온 스테이지를 포함하는 고자기장 측정 시스템
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제 7항에 있어서,상기 X축이동부는,상기 계측챔버의 하부면에 고정설치되는 제1 고정플렛(Flat);상기 제1 고정플렛에 회동가능하도록 설치되고 상기 제어라인으로부터 동력을 전달받아 회동하는 스크류볼트; 및상기 스크류볼트의 회동에 대응하여 상기 스크류볼트의 회동축방향으로 이동하는 제1 이동플렛을 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 스테이지를 포함하는 고자기장 측정 시스템
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제 8항에 있어서,상기 Y축이동부는,상기 제1 이동플렛의 상부에 고정설치되는 제2 고정플렛;상기 제2 고정플렛의 상부에 구성되는 제2 이동플렛; 및상기 제어라인으로부터 동력을 전달받아 상기 제2 이동플렛을 상기 스크류볼트의 회동축방향에 직교방향으로 이동시키는 랙피니언기어(Rack Pinion Gear)를 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 스테이지를 포함하는 고자기장 측정 시스템
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제 9항에 있어서,상기 회동부는,상기 제2 이동플렛의 상부에 고정설치되는 제3 고정플렛;상기 제3 고정플렛의 상부에 구성되는 회동플렛; 및상기 제어라인으로부터 동력을 전달받아 Z축을 회동축으로 하여 상기 회동플렛을 회동시키는 웜기어(Worm Gear) 또는 베벨기어(Bevel Gear)를 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 스테이지를 포함하는 고자기장 측정 시스템
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시료가 놓여지는 냉각스테이지 및 3축스테이지를 계측챔버 내부로 이동시키는 시료안착단계;진공펌프를 동작하여 상기 계측챔버 내부를 진공상태로 만드는 진공형성단계;극저온냉각장치를 동작하여 상기 계측챔버 내부를 극저온상태로 만드는 극저온냉각단계; 및초전도코일에 전기에너지를 공급하여 발생하는 고자기장을 이용하여 상기 시료의 특성을 측정하는 측정단계를 포함하고,상기 측정단계는,상기 3축스테이지를 제어하여 상기 시료의 위치를 조정하는 위치조정단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 스테이지를 포함하는 고자기장 측정 시스템의 제어 방법
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제 11항에 있어서,상기 측정단계는,상기 시료의 특성을 측정하기 위한 측정항목을 호출하는 측정항목 호출단계; 및상기 측정항목에 대응하여 측정순서를 설정하는 측정순서 설정단계를 더 포함하고,상기 위치조정단계는,상기 측정순서에 따라 상기 시료의 위치를 조정하는 것을 특징으로 하는 극저온 스테이지를 포함하는 고자기장 측정 시스템의 제어 방법
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제 13항에 있어서,상기 측정단계는,상기 측정순서에 따라 상기 시료의 측정항목별 특성이 모두 측정되면, 상기 측정항목별 특성의 측정정보를 취합, 저장, 전송 및 디스플레이 중 적어도 하나를 수행하는 측정정보 제공단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 스테이지를 포함하는 고자기장 측정 시스템의 제어 방법
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