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발열 분포 특성을 통해 불량 여부를 확인하고자 하는 시료를 탑재하는 시료 탑재부;가시광을 시료에 조사시키기 위한 광원;상기 시료의 불량지점에서 주기적인 발열을 야기 시키기 위한 구동신호를 발생시키는 전원공급부;상기 시료의 표면으로부터 반사된 광을 검출하는 제1 검출부; 및상기 제1 검출부와 상기 전원공급부의 구동신호를 동기화를 위한 신호발생기를 포함하는 발열 분포 측정을 이용한 불량 분석 장치
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제1 항에 있어서,제어부 및 영상처리부를 더 포함하되,상기 제어부 및 영상처리부는 시료의 불량지점에서 온도변화에 의한 반사율 변화를 측정하고 이를 열분포로 변환하는 발열 분포 측정을 이용한 불량 분석 장치
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제2 항에 있어서,상기 제어부 및 영상처리부는, 상기 시료의 불량 지점에서 파장에 따른 열분포를 획득하는 발열 분포 측정을 이용한 불량 분석 장치
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제1 항에 있어서,제1 광분배기를 더 포함하고,상기 광원으로부터 출사되는 광을 시료에 전달하고 시료로부터 전달되어 온 광을 상기 제1 검출부로 전달하는 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 발열 분포 측정을 이용한 불량 분석 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 검출부는 시료를 온도-모듈레이션 시키는 주기의 복수배로 트리거되는 것을 특징으로 하는 발열 분포 측정을 이용한 불량 분석 장치
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제4 항에 있어서,제2 광분배기 및 제2 검출부를 더 포함하고,상기 제2 광분배기는 상기 시료로부터 전달되어 온 광을 상기 제1 검출부와 상기 제2 검출부로 분배하는 역할을 수행하고, 상기 제 2 검출부 전단에는 분광기가 더 구비되는 발열 분포 측정을 이용한 불량 분석 장치
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제1 항에 있어서,상기 광원으로 통해서 나온 광이 선택적인 파장의 광을 전달하기 위해 필터를 더 포함하는 발열 분포 측정을 이용한 불량 분석 장치
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발열 분포 특성을 통해 불량 여부를 확인하고자 하는 시료에 가시광을 조사하는 단계;전원을 공급하여 상기 시료의 불량지점에 주기적으로 발열을 야기시키기 위하여, 구동신호를 발생시키는 단계; 및상기 시료의 표면으로부터 반사된 광을 검출하는 단계를 구비하되, 반사된 광을 검출함에 있어서 상기 구동신호와 동기화되는 것을 특징으로 하는 발열 분포 측정을 이용한 불량 분석 방법
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제8 항에 있어서,상기 시료의 반사율 변화로부터 위상잠금 열반사법으로 측정하고 이를 열분포로 변환하는 단계를 더 포함하는 발열 분포 측정을 이용한 불량 분석 방법
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제8 항에 있어서,반사된 광을 검출함에 있어서 시료를 온도-모듈레이션 시키는 주기의 복수배로 트리거하는 단계를 포함하는 발열 분포 측정을 이용한 불량 분석 방법
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제8 항에 있어서,상기 시료로부터 전달되어 온 광을 이용하여 파장별로 열반사 계수 변화를 산출하는 단계를 더 포함하는 발열 분포 측정을 이용한 불량 분석 방법
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